中古 BROOKS AUTOMATİON EFEM #9358219 を販売中

ブルックスオートメーションEFEMは、ファクトリーオートメーションおよびマテリアルハンドリングアプリケーションの広い範囲で繊細なウェーハやコンポーネントを正確かつ迅速に移動および処理するように設計された高性能ウェーハハンドラです。ウェーハをさまざまなプロセス間で制御し安全に移動できる汎用性の高いハイスループットマシンです。Brooks EFEMウェーハハンドラは、サーボモーター、モーションコントローラ、ロボットアーム、手動転送カート、またはウェーハの動きを制御するためのこれらの組み合わせで構成されるモジュラー自動装置です。ロボットアームはシステムの主要コンポーネントであり、特定のアプリケーション要件に対応するように構成されています。このフレキシブルユニットは、精密ウェハハンドリングとトランスファー、組立作業、機械の傾向、半導体製造など、幅広い用途に対応するさまざまなウェハハンドリング構成を可能にします。ロボットアームは直径450mmまでのウェーハを扱うように設計されています。アームとBROOKS AUTOMA EFEMのベースに対してウエハの角度方向を正確に制御するラジアルアクチュエータを搭載しています。この設計は、異なる特殊プロセス間でウェーハを移動して処理する際に一貫した高精度の角度を可能にします。ロボットアームにはウエハチャッキング装置が内蔵されており、性能を最適化するために、ロボットアームを停止させる「スタートストップ」操作と、アプリケーションの必要に応じてウェハを正確に配置するステートメモリを備えています。このロボットは、ビジョンガイダンスと正確なウェーハアライメント用のカメラと組み合わされています。Brooks EFEMは、300mm/secの速度までのプロセス間でウェーハを正確に転送することができます。また、ロボットやアクセサリの操作を制御するための標準コマンドも設定されています。高い精度とスピードでウェーハの処理時間を短縮し、直感的な制御プログラムにより正確さを保証します。ブルックスブルックスオートメーションEFEMは、その高性能コンポーネントと品質の構造のため、今日の市場で最も信頼性の高いウェーハハンドリングシステムの1つです。結論として、EFEMは、ファクトリーオートメーションおよびマテリアルハンドリングアプリケーションの広い範囲で繊細なウェーハやコンポーネントを正確かつ迅速に移動および処理するように設計された効果的なウェーハハンドラです。モジュラー設計と柔軟性により、非常に精密な角度と動きを伴うアプリケーションにはるかに役立ちます。また、高性能な部品と構造により、今日の市場で最も信頼性の高いウェーハハンドリングシステムの1つです。これは、ほとんどの自動工場環境のニーズを満たすための理想的なツールです。