中古 BROOKS AUTOMATİON EFEM #293600201 を販売中

ブルックスオートメーションEFEMは、自動工場ベースの環境向けに特別に設計されたウェーハハンドリング装置です。産業生産プロセスにおけるウエハーの取り扱いに、信頼性が高く、高速かつ低メンテナンスのソリューションをユーザーに提供します。このシステムは、生産中にあるステーションから別のステーションにウェーハを確実かつ正確に輸送する傘のようなロボットアームを採用しています。ロボットアームは、空気圧駆動のリニアアクチュエータと高精度モータを使用して、シームレスで制御された動きを容易にします。ロボットアームは、ガントリーに取り付けられた鉄骨フレームに接続されており、一連の連結正方形のセクションで構成されています。この頑丈なフレームは、ロボットの動きをサポートするために必要な構造的完全性を提供します。EFEMユニットはまた、ウェーハ処理プロセスの微調整と最適化を可能にする高度なソフトウェアを備えています。このソフトウェアは、ロボットアームが生産環境の変化にリアルタイムで対応できるようにユーザー定義された高度なアルゴリズムとパラメータを備えています。ウェハサイズや形状に応じて、ロボットの動きパターンを簡単に変更することができます。機械のモジュラー設計はまた、オートメーションの効率と汎用性を高めるために追加のコンポーネントを簡単に追加することができることを意味します。例えば、同じフレームに複数のロボットアームを取り付けることができ、同時にウェーハを運ぶことができます。さらに、プレートパレット、バスケット、トレイなど、さまざまなウェハレセプタクルを取り付けることで、生産プロセスの特定のニーズに応じてツールを柔軟に構成することができます。要するに、ブルックスオートメーションEFEMは信頼性が高く汎用性の高いウェーハハンドリング資産であり、産業ユーザーに生産プロセスに効率的で費用対効果が高く信頼性の高いソリューションを提供します。そのユーザーフレンドリーなソフトウェア、簡単なインストールとコンポーネントの柔軟性のおかげで、それはウェーハ輸送アプリケーションの広い範囲に非常に適した選択肢です。