中古 BROOKS AUTOMATION E40001182 and E19013780 #57120 を販売中

BROOKS AUTOMATION E40001182 EChangerとE19013780 EChangerは、半導体と光電子デバイス処理用に特別に設計された2つのウエハハンドラです。これらの高性能マシンは、最大スループットとデバイス歩留まり向上のための自動ウェーハ処理、熱管理、および検査機能を提供します。EChangerは、ウェーハを保管場所から処理ステーションに移動するように設計されています。マシンの主要コンポーネントには、メインフレーム、サーボモータ、ドライブユニット、シャトルが含まれます。メインフレームは、2つのメインサポートと、サーボモータ、ドライブユニット、およびその他のコンポーネントを収容する中央フレームで構成されています。サーボモータは、シャトルと関連ツーリングのアライメント、翻訳、回転を担当します。駆動ユニットは、モーター、ギアボックス、および機器の同期、タイミング、および制御を担当するコントローラで構成されています。EChangerは、さまざまな動作パターンを介してさまざまなウェーハサイズと重量を輸送することができます。精密モーションスクライブ、サーマルエネルギープロファイラ、スキャンフィールド調整を使用して、正確なウェハハンドリングを実現します。このマシンは、ウェーハの平坦性を維持し、最大200+ウェーハのカセットを処理し、処理中にリアルタイムの熱管理を提供するように設計されています。EChangerは安全な労働環境のための安全機能と組み立てられます。これは、シャトルの偶発的な活性化から保護するための安全インターロックシステムを持っており、緊急またはユーザーエラーの場合には緊急停止ボタンも装備されています。また、緊急時にユニットをシャットダウンするための非常用電源スイッチも備えています。EChangerはまた、きれいな運用環境を確保するためにほこりや湿気を保護しています。E19013780 EChangerは、EChangerのウェーハハンドオーバー機能に加えて、オペレータがウェーハを表示し、デバイスの状態を検査できる検査ステーションを備えています。これには、高精度CCDカメラ、オンボード照明機、および3つの先進的な画像処理技術（Ultra Clear、 Contrast Protection、およびDual Image Trace）が含まれます。これらの機能は、正確な歩留まり解析とデバイスの特性評価のためのより高いレベルの精度と再現性を提供します。BROOKS AUTOMATION EChanger'sは、信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングソリューションを提供します。サーボモータ、ドライブユニット、精密モーションスクライビング技術などの機能により、ウェーハの最大スループットと正確なアライメントを可能にします。また、検査ステーションやリアルタイム熱管理機能など、半導体やオプトエレクトロニクス機器の加工に最適な機能を備えています。