中古 BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 #9301902 を販売中

BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2ウェーハハンドラは、今日の洗練された半導体製造ラインの要求に応えるように設計された高度なウェーハローディングおよびアンロード装置です。優れたダイでもダイでも、ウェーハの高いスループットと正確な制御を可能にします。この自動ウェーハハンドラは、フロントとバックサイドの両方の操作を含む、1時間あたり最大240ウェーハを処理できます。最大200mmまでのウエハー加工が可能で、8インチまでのウエハサイズに対応できます。高度な制御装置と高精度ステッピングモータにより、このシステムは業界最高のスループットを出力することができます。DBM 2406-V2ウェーハハンドラは、ウェーハの信頼性と正確なロードとアンロードを提供するように設計されています。プログラム可能なローダースロットは、異なるウェーハサイズとタイプのローダースロットのパラメータを調整する機能をユーザーに提供します。モーションサブシステムは、最大40mm/sの速度に達することができるボールねじ駆動ステージを利用しています。この一次特性評価ユニットは、8軸に精密なリニアモーションを提供し、ウェーハの高スループットを可能にします。BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2ウェーハハンドラには、ローディングおよびアンロード時にエッジ検出とアライメントを提供するビジョンマシン、および粒子汚染からツールを保護する環境エンクロージャも備えています。効率的で正確なウェーハハンドリングに加えて、DBM 2406-V2ウェーハハンドラーはユーザーにインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。このユーザーインターフェイスにより、ユーザーはPCまたはノートブックコンピュータからウェーハプロセス全体を制御できます。ウェーハの向き、温度、速度、ギャップサイズなど、さまざまなプロセス設定にアクセスできます。このユーザーフレンドリーなインターフェイスは、経験の浅いユーザーでも資産を簡単にプログラミングできます。BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2ウェーハハンドラは、さまざまな製品に高性能と柔軟性を提供します。品質を犠牲にすることなく、スピード、精度、精度を要求する半導体生産ライン向けに設計されています。高度なオートメーションと信頼性の高い操作により、このモデルは製造メーカーがウェーハを迅速かつ効率的に処理するのに適しています。