中古 BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 #9015227 を販売中

BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2は、ファブリケーター、半導体デバイスメーカー、研究開発ラボ向けに、信頼性の高いウェハトランスファーと生産を可能にするように設計されたウェハハンドリング装置です。このシステムは、コンベアベースのウェハハンドラ、ウェハシャトル、および正確で反復可能なウェハハンドリング用の2軸ロボットアームで構成されています。コンベアユニットは、高精度の精度と再現性を維持しながら、1秒あたり最大300mmのウェーハの位置決め、追跡、位置決めが可能なビジョンベースのセンタリングマシンで設計されています。ウエハシャトルは独自の超低プロファイル設計を採用しており、最大スループットレートで複数のウエハカセットを効率的にロードおよびアンロードできます。この2軸ロボットアームは、ウェーハの正確で反復可能なピックと位置を考慮して設計されています。DBM 2406-V2ウェーハハンドラは、複数のウェーハサイズで動作し、各ウェーハを中心点の15µm内で測定し、それに応じて速度を調整することができます。モンタージュ動作時には600mmまたは300mmまで対応しながら、高い精度と再現性を維持するように設計されています。さらに、ウエハハンドラは、性能を犠牲にすることなく、シリコン、発光ダイオード（LED）、ガラスなどのさまざまな種類のウエハを同時に処理することができます。BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2ウェーハハンドラは、信頼性の高い生産レートで精密で再現性のあるウェーハを出力する必要があるあらゆる半導体製造設備に最適です。このツールのコンベアベースのウェハハンドラ、ウェハシャトル、および2軸ロボットアームは、低コストの所有コストを維持しながら、可能な限り最高のスループットと精度を提供するように設計されています。また、ウェハハンドリングアセットは、緊急停止ボタンやインターロックモデルなどの安全機能を備えて設計されており、機器を操作するウェハーと人員の両方に最高の安全性を確保しています。