中古 BROOKS AUTOMATION Backbone #9294028 を販売中

BROOKS AUTOMATION Backbone（ブルックスオートメーション）は、半導体メーカーが半導体ウェーハの搬送・加工に使用する科学機器です。ウェーハハンドラの主な目的は、ウェーハの搬送と加工を、製造の1段階から次の段階まで自動化し、手動での介入を最小限に抑えることです。Backboneは、半導体ウェーハを加工工程間で搬送し、拡張処理中にウェーハを保管できるように設計された完全自動ウェーハ処理装置です。BROOKS AUTOMATION Backboneは、製造プロセス中にウェーハを輸送および保管するために使用される一連の輸送メカニズムとチャンバーモジュールで構成されています。トランスポートメカニズムは、入力モジュールから指定された処理モジュールにウェーハを移動するために使用され、チャンバモジュールはシステム内の具現化ポイントとして機能します。各モジュールは、微妙なプロセスのための大気の動的クリーニングまたは事前調整など、特定の圧力、温度、環境、および清浄度の要件を維持するように設計されています。バックボーンには、圧力や温度などのユニットの状態を測定するセンサーも装備されています。BROOKS AUTOMATION Backboneは、正確かつ安全な配信を確保するために、精密制御と安全対策を提供する高度なモーションコントロールシステムで設計されています。これは、ウェーハキャリアが正確かつ適切な方向に移動していること、キャリア間の接触がないこと、およびキャリアが損傷なく慎重にウェーハを処理していることを確認するために必要です。Backboneは200mm、 300mm、 tappered、および他の注文のサイズのようなさまざまなタイプのウエハのキャリアをまた支えます。高温処理に適したキャリアもご用意しております。また、異なるウエハサイズのソフトウェアを使用して簡単に調整および変更できます。全体として、BROOKS AUTOMATION Backboneは、ウェーハの安全で正確かつ効率的な輸送と保管を提供する信頼性の高い洗練されたウェーハハンドリングツールです。手動での処理を簡素化し、制御可能な真空で再現可能な炉プロセスと、これらの工程を通じてウェーハの正確な移動を可能にします。大量生産からR&Dまで、幅広いウエハハンドリングアプリケーションのリーディングオプションです。