中古 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9281505 を販売中

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTSは、高精度、高速自動ウェハハンドリング用に設計された高度なウェハハンドラです。この装置は、8インチから12インチのウェーハまで、さまざまなウェーハサイズで処理することができます。堅牢な設計と堅牢なコンポーネントにより、高いスループットと信頼性を実現します。Backbone-VTSは、高い精度を維持するために設計された信頼性の高いウェーハモーションコントロールを備えたロボットアームを使用しています。各アームはサポート構造にしっかりと取り付けられ、包括的な制御セットを介して操作されます。このユニットは、ウェーハキャリアモータ移動にソリッドステートDCサーボコントローラを使用しています。このコントローラは、幅広いウエハサイズ、動き、位置にわたって、迅速かつ正確な動作速度の変更を可能にします。このマシンは、2つの独立した高トルクのステッピングモータを備えており、サブミクロンの位置決めと分解能を備えており、正確なウェーハ間のアライメントと制御が可能です。機械部品と並んで、このツールにはインテリジェント制御アセットも含まれています。ウェーハのサイズや向きを検知する各種センサーや、カセット内部の環境条件を測定するセンサーを搭載しています。コントローラは、ロボットアームの動きを制御し、ウェーハ輸送ルーチンを実行し、複数のウェーハ転送を調整し、ウェーハの位置と状態を追跡するようにプログラムされています。コントローラは、エラーを認識し、自動的に是正アクションを開始することもできます。BROOKS AUTOMATION Backbone-VTSは、優れたパフォーマンスを提供するように設計された包括的な機器アーキテクチャを備えています。そのモジュラー設計は、ユーザーが特定のニーズを満たすためにシステムをカスタマイズすることができます。このユニットには、高速ハンドラ管理ソフトウェアやフル機能のハンドラデバッグソフトウェアなど、幅広いソフトウェアパッケージが含まれています。このマシンはまた、異なる種類の業界プロトコルをサポートしており、マシンと他のデバイスを直接統合することができます。Backbone-VTSは、最も有能で効率的なウェーハハンドラの1つです。堅牢で信頼性の高い設計、正確なウェーハ間アライメント、包括的なソフトウェアパッケージにより、高いスループット、高精度、高信頼性を必要とするアプリケーションに最適です。包括的な機能とパフォーマンスにより、自動ウェハハンドリングのニーズに最適なソリューションです。