中古 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #9064554 を販売中

BROOKS AUTOMATION ATR-8は、真空および圧力制御された環境でウェーハを確実に輸送および交換するために設計された業界標準のウェーハハンドラです。高速フロントエンドウェーハハンドリングロボットを搭載し、最大8枚のパラレルウェーハを毎秒25枚のウェーハで正確に処理および転送できます。ロボットアームビームは、高トルクのダイレクトドライブモーターによって駆動され、滑らかで正確な動作を実現します。このシステムには、BROOKS AUTOMATION ATR8コンパクトなプロセスチャンバーも含まれています。ATR-8はまた、ウェーハハンドリングロボットとプロセスチャンバーの間に一貫した信頼性の高いシールを備えており、高品質で反復可能な結果を提供します。このユニットには、ロボットアームの速度を必要に応じて監視および調整できる堅牢な電子フィードバックが装備されています。さらに、ATR8は、ほとんどの標準的なウェーハフォーマットと互換性があり、容易な互換性を可能にします。BROOKS AUTOMATION ATR-8には、安全で効率的なウェーハハンドリングプロセスを保証するためのさまざまな高度な機能が搭載されています。これらの機能には、ロボットアームに従事し、ウェーハの安全な取り扱いを提供する電気機械式ブレーキ機が含まれます。また、最先端の安全インターロックシステム、カードリーダー、視覚認識技術を備えており、繊細なウェハを処理しながらオペレータの安全性を確保します。さらに、このアセットには、プロセスチャンバ内の熱または化学レベルを検出するための複数のセンサーが装備されています。BROOKS AUTOMATION ATR8には、ウエハ温度、ガスレベル、チャンバー圧力、流量などのパラメータを監視する高度なプロセス制御モデルも含まれています。この機能により、オペレータはウェーハ処理条件を迅速かつ正確に分析、調整、最適化できます。全体として、ATR-8は真空および圧力環境でウェーハを処理および輸送するための効率的で信頼性の高い機器です。高度な安全機能、堅牢な電子フィードバックシステム、プロセス制御機能を組み合わせることで、重要なウェハハンドリングアプリケーションに最適です。