中古 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #9019122 を販売中

BROOKS AUTOMATION ATR-8は、業界をリードする信頼性の高いウェハハンドラであり、ウェハローディング、カセットローディング、アンロード、およびダイシンジレーションなど、さまざまなアプリケーションに適しています。この信頼性の高いウエハハンドラは、直径8インチ（200mm）までの基板を処理し、600mmのウエハレベルで超微細な処理を行うことができます。この高度なウエハハンドラは正確で正確なため、多くのアプリケーションに最適です。自動化された操作により、ハンドリングは精密かつ再現性があり、ウェーハサイズ、厚さ、ピッチなどさまざまなパラメータでプログラムすることができます。高精度の光学システムにより、SAGとPERの両方のハンドリング操作のためのウェーハの正確な認識と位置決めが可能です。BROOKS AUTOMATION ATR8は、統合された安全ドアインターロック、および最高レベルの安全性を確保する調整可能なフォースアプリケーションセンサーも備えています。ATR-8には、プロセスの生産性を向上させるための多くの機能があります。これらには、操作の柔軟性、並列SAG/PER動作、高速フォルトリカバリ、オブジェクト認識機能、データロギングおよび事前アラーム機能を備えた独立したカセットおよびウェハハンドラが含まれます。オプションのオートアライメント機能と、統合されたプレッサとエレベーターモジュールにより、並列操作のためのウェーハセンタリングが容易になります。この高度な機能により、ATR8は正確な再現可能な操作を忠実に再現できます。ブルックスオートメーションATR-8は、究極の柔軟性を提供します。これは、異なる基板を同時に処理し、1回の実行で複数の操作を完了することができます。また、使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを備えており、ユーザーは目的のパラメータを設定できます。BROOKS AUTOMATIONの信頼性の高いBROOKS AUTOMATION ATR8は、ダウンタイムを最小限に抑えながら優れたパフォーマンスと信頼性を提供します。その設計と性能の広範なテストと検証を受けており、高品質、信頼性、再現性のあるパフォーマンスを提供することが証明されています。このウェーハハンドラは、ほとんどのアプリケーション要件を満たす柔軟性と機能を備えて設計されており、装置OEM、実験室の研究者、および効率的にウェーハを処理および処理する必要のある組織に最適です。