中古 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #293770385 を販売中

BROOKS AUTOMATION ATR-8は、特定の作業スペース内でウェーハを効果的に輸送、整列、整列するように設計された高性能ウェーハハンドラです。BROOKS AUTOMATION ATR8は、半導体・イメージセンサ製造プラントにおけるウェハ加工、分析研究、高密度ウェハストレージに適しています。ワイドベースとロードベアリングプラットフォームを備え、最大230mmのウエハカセットを搭載できます。さらに、高トルクモーターと新世代の潜水駆動により、ウエハートレイの動きを正確に制御することができます。ATR-8は、エラーのない処理のためのセンサーとスマートコンポーネントの配列が装備されています。例えば、このマシンはABVision™ 2Dアライメントシステムと統合されており、マイクロ秒単位でウェーハを正確にセンタリングできます。また、Vacuum Control Assistance （VCA™）と統合されており、いわゆる「Vacuum-out」ウェーハ転送が可能です。これにより、ウェーハサイズの変更に素早く反応することができ、ジョブにとって信頼性が高く安全なツールとなります。機械設計の改善は、運用コストの削減にも役立ちます。ATR8は、システム全体のウェーハ移動の安定性を高め、振動に伴うリスクを低減する特許取得済みのエアベアリング対応アームリテーナーを使用しています。これにより、ウェーハの破損やその他のメンテナンスコストを最小限に抑えることができます。BROOKS AUTOMATION ATR-8もシンプルなデザインで、オペレータがナビゲートしやすくなります。このマシンは、水平および垂直の両方の転送プロセスと互換性があるように設計されています。トランスファープロトコルは、幅広い操作に設定でき、異なるトレイのロード/アンロードシーケンスに設定できます。また、C軸アライメントも備えており、さまざまなシナリオで迅速かつ正確にウェーハをアライメントできます。結論として、BROOKS AUTOMATION ATR8は信頼性とユーザーフレンドリーなウェーハハンドラーです。センサー、コンポーネント、および機械設計を備えており、運用を改善し、運用コストを削減します。さらに、幅広いプロセスとの互換性と、迅速かつ正確にウェーハを揃える能力により、あらゆる半導体およびイメージセンサー製造プラントに最適なツールとなります。