中古 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #293661956 を販売中

ブルックスオートメーションATR-8ウェーハハンドラーは、インテリジェントで信頼性の高いウェーハオートメーション機器です。このシステムは、完全で自動化された正確なウェーハ処理と転送を提供するように設計されています。ウエハーの搬送・取り扱いは、作業条件と非稼働条件の両方で行うことができます。ユニットは、安全なストレージとアセンブリのためのキャビネットと、組み込みのコマンドインターフェイスを備えた精密ロボットアームで構成されています。BROOKS AUTOMATION ATR8は、シンプルでパワフルなコマンドインターフェイスを使用してプログラムされており、ウェーハの動きを完全に自動制御できます。ATR-8は直径12インチまでの標準的な200mm （8インチ）のすべてのウエハを扱うことができます。また、ATR8を使用して、8インチから12インチのウエハカセットを取り扱うこともできます。ブルックスオートメーションATR-8は、いくつかの要素で構成されています。コアマシンは、高精度ロボットアームと感覚ステージをベースにしています。ロボットアームは工具の工具であり、プロセスチャンバーやカセットとの間でウェーハを転送する責任があります。このアセットには、各転送の詳細を保存および処理するための強力な統合制御コンピュータも備えています。BROOKS AUTOMATION ATR8は、さまざまなプロセス温度の間でウェーハを安全に移動するために使用されるサーマルハウジングモデルも備えています。サーマルハウジング装置は、搬送時にウェハが熱衝撃を受けないようにし、正確な温度制御を維持します。ATR-8は、高度なウェハハンドリング技術を使用して、効率的で信頼性の高いウェハハンドリングシステムを提供します。洗練されたセンサーとフェイルセーフを備えており、汚染を防ぎ、ウェーハが誤って転送されるのを防ぎます。このユニットは、高い再現性と精度でウェーハを処理するように設計されており、高精度なハンドリングのニーズに最適です。また、このマシンは柔軟性が高く、ユーザーは特定のタスクに対して迅速かつ簡単に設定することができます。ウェハハンドラツールATR8簡単にインストールでき、ウェハハンドラツールを使用すると、ウェハハンドリングと転送がはるかに簡単になります。これは、ウェーハをプロセスチャンバ間で安全かつ正確に転送することを保証する、すべての標準的なウェーハ処理ニーズのための信頼性と正確なソリューションです。BROOKS AUTOMATION ATR-8は、高度な自動化機能と使いやすいコマンドインターフェイスを備え、あらゆる操作に最適なオールラウンドウェーハハンドリングソリューションです。