中古 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 #9019156 を販売中
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ID: 9019156
Robotic wafer transfer with arm, for parts or repair
15" arm
Z-axis
Software version 1.83.1.
BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 Wafer Handlerは、処理コストを最小限に抑えながら、ウェーハのスループットと歩留まりを向上させる独自のハンドリングソリューションです。このハイテクなウエハハンドラは、ウエハハンドリングの効率と精度を向上させるユニークな機能と機能のセットで設計されています。先進的なモジュラーAcuTran 7ウェーハハンドラ装置は、独立したカセットローダー、ウェーハロボットアーム、ウェーハトランスポートシステムなど、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。独立したカセットローダーは、さまざまなカセット構成をすばやく簡単に交換できる効率的な設計を特徴としています。この急速なカセット変更機能により、オペレータはウェーハサイズ、構成、および方向をすばやく簡単に変更できます。ウェーハロボットアームは、ステーション間のウェーハのスムーズな搬送を可能にし、精度と全体的な生産速度を向上させます。この革新的なロボットアームは、高度な制御アルゴリズムを使用して、滑りを最小限に抑えたウェーハの正確な配置を保証します。また、独自のセンサアレイにより、プロセス全体でウェーハ位置を正確に追跡できます。BROOKS AUTOMATION AcuTran 7ユニットは、プロセス間のウェーハの迅速な輸送を可能にする高効率のウェーハ搬送機を使用しています。高度なトラックデザインと最適化されたポートレイアウトにより、ローダーからロボットアームへのウェーハのスムーズな移動が可能になり、ステーションからステーションへ移動する際にウェーハが常に同じ方向にあることを意味します。AcuTran 7 Wafer Handlerは使いやすく、維持するように設計されています。ツールの使用方法に関するオペレータガイダンスは、デバイス自体とオンラインユーザーマニュアルを介して提供されます。エラーメッセージ、資産診断、およびその他の情報がオペレータに明確に提示され、問題が発生した場合の識別と解決を支援します。さらに、モデルのモジュール設計により、技術や生産ニーズの変化に応じてコンポーネントを簡単にアップグレードできます。まとめると、BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 Wafer Handlerは、ウェーハの処理と処理のためのユニークなソリューションを提供します。優れた精度、精度、およびスループット機能を備えた設計で、最新のウェーハ処理ニーズに最適です。
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