中古 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 #9019132 を販売中

ID: 9019132
Robotic wafer transfer atmospheric Does not include arm.
BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 Wafer Handlerは、今日の厳しい半導体産業の要件を満たすように設計された、高度で高性能なウェーハハンドリングロボットです。AcuTran 7は、ウェハハンドリングアプリケーションにおいて優れた性能、精度、信頼性、柔軟性を提供します。BROOKS AUTOMATION AcuTran 7は、AcuTrackコントローラ、ロボットアーム、XYZ軸ステージ、ロボットアームモーションコントロールユニットで構成されています。AcuTrackコントローラは、AcuTran 7機器のメインコントロールユニットです。リアルタイムのマルチタスクオペレーティングシステム、高速通信ポート、堅牢なユーザーインターフェイスを備えています。AcuTrackコントローラを使用して、ロボットの動きやアームの動きなど、BROOKS AUTOMATION AcuTran 7ユニット全体を構成および制御できます。ロボットアームは、ウェハハンドリングアプリケーションで最大限の柔軟性を提供するように設計されています。ピックアンドプレースオペレーション、ウェーハ検査、測定、アライメント、テスト、その他多数の操作が可能です。ロボットアームは高精度のブラシレスACサーボモータで駆動され、高度なベクトルモータコントローラによって駆動されます。XYZ軸段はSEMI規格に準拠しており、直径200mmまでのウェーハを取り扱うように設計されています。ピックアンドプレイス、アライメント、テスト操作のための高精度モーションコントロールを可能にします。XYZ軸ステージは、高解像度エンコーダによって駆動され、ブラシレスDCモーターコントローラによって駆動されます。ロボットアームモーションコントロールユニットは、すべてのロボットアームの動きを制御し、ウェーハのずれを補正する責任があります。マルチモードサーボループ制御機を搭載し、スムーズで高精度なロボット動作を実現するミキサー回路を内蔵しています。AcuTran 7 Wafer Handlerは全体的に非常に信頼性が高く堅牢なツールで、幅広いウエハハンドリングアプリケーションを精度と精度で処理できます。その高度な制御技術、高度な製造プロセス、マルチモードサーボループ制御資産は、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たすことを保証します。BROOKS AUTOMATION AcuTran 7は、優れた投資収益率を提供する信頼性と費用対効果の高いソリューションです。
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