中古 BROOKS AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #50321 を販売中

BROOKS AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293は、半導体製造のための完全に自動化されたウェハハンドラです。これは、カセットからウェーハボートキャリアにウェーハを正確に取り扱い、転送し、整列するように設計されています。このウェハハンドラには、バルク積載可能な入力カセットからボートキャリアにウェハーを輸送するための2つの自動ウェハトランスファーアームが装備されています。ウエハハンドラは、3軸ポジショニングシステムを採用しており、サブミクロン精度で正確で信頼性の高いウエハアライメントを提供します。ビジュアルベースのアライメントと品質保証システムを内蔵しているため、ミスアライメントエラーの検出と修正、クラックやチップなどの欠陥の検出が可能です。ビジョンシステムは、高解像度のカラーカメラとLEDライトを使用して、各ハンドリング操作の前後にウェーハを検査します。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイにより、ユーザーはウエハハンドラを直感的に制御、監視、トラブルシューティングできます。また、さまざまなプロセスパラメータと設定を提供し、カスタマイズされたウェーハアライメントとハンドリングを可能にします。ウェハハンドラは、安全で安全な操作を保証するために、連続的で冗長な保護ハードウェアなどの安全機能を備えています。ABM-405-1-S-CE-S293は市販の既製部品と独自のソフトウェアを使用して構築されており、優れた安定性、拡張性、信頼性を提供します。-15°Cから50°Cまでの温度管理された環境でウェーハを処理および転送するように設計されており、さまざまなプロセスに適しています。さらに、CE規格に準拠しており、EthernetやCANBusなどの産業通信プロトコルをサポートしています。このウェハハンドラには2年間の限定保証が付属しており、半導体製造における自動ウェハハンドリングのための理想的な費用対効果と信頼性の高いソリューションです。