中古 BROOKS AUTOMATİON 9704-0955 #9356060 を販売中
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ID: 9356060
Robot
001-8672-01 Controller transfer module
Vacuum transfer module
THERMIONICS LABORATORY 569310 High vacuum wafer transfer module chamber robot interface
Robot interface
High vacuum interface
Isolation valve
View port
PFB G-2.0x10.2 PA
MAC 45A-AA2-DDAA-1CA Valve
Does not include stand.
ブルックスオートマチック9704-0955は、半導体チャンバ用途向けに特別に設計された標準ウェハハンドラです。このウェーハハンドラは、拡張性のために設計されたモジュラープラットフォーム上に構築されており、ユーザーは機器の特定のサイズ、容量、およびスループットのニーズを満たすように調整することができます。最先端のユーザー直感的なウエハインタフェース、超低力精度ロボットピッカー、高度なソフトウェアコントロールを備えており、簡単で正確なウエハハンドリングが可能です。また、ハンドラはさまざまなアライメントおよびエッジプロファイルセンサーを使用して、正確なウェハの向きを確保するように構成することもできます。9704-0955ユニットは安全を念頭に置いて設計されており、安全インターロックマシンや触覚モーションセンサーなどのさまざまな機能を使用してオペレータの安全を確保しています。このツールはまた、必要なメンテナンスの量を最小限に抑えるように設計されています。ロボット工学および送り装置は最低の摩耗のために設計され、すべての移動部品は低粘度、無毒なオイルを使用して注油されます。また、幅広いソフトウェア制御パッドリフターを使用して、最適な汚染防止とウェーハ保護を実現しています。ブルックスオートマチック9704-0955モデルは、トレーニング、メンテナンス、フィールドサービスなど、さまざまなサービスとサポートオプションを備えた長期的なサービスコミットメントに裏打ちされています。このユニットは、手動または自動バッチサンプリング、カセット/tirdsのロード/アンロード、8「-18」ウェハサイズのサポート、LCB/LTO/NR互換性、手動または自動エンドエフェクタ交換など、顧客のニーズを満たすためにさまざまな方法で構成できます。9704-0955は、半導体チャンバのアプリケーションに適用可能で信頼性の高い選択肢であり、ユーザーは最適な性能と最小限のメンテナンス要件を維持しながら、機器を特定のニーズに合わせて調整することができます。このウェーハハンドラは強力なサービスコミットメントに裏付けられており、お客様はシステムの長期的なパフォーマンスに自信を持ちながら、現在のニーズに柔軟に集中することができます。
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