中古 BROOKS AUTOMATION 201600-91-0001 #293664131 を販売中
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



















BROOKS AUTOMATION 201600-91-0001は、さまざまなウェーハ製造プロセスで使用される高性能ウェーハハンドラです。モジュラー設計により、さまざまなウェーハに対応するための効率と精度を最適化します。ウェーハハンドラには、単一のウェーハ非接触転写メカニズムが含まれており、直接接触することなく、最大7インチの直径のウェーハの信頼性と正確な転送を可能にします。統合されたウェーハハンドリングベイは、さまざまなウェーハサイズの大容量を提供します。この装置は、ハンドラの構成を変更することなく、さまざまなサイズと厚さの半導体ウェーハを処理するように設計されています。統合ビジョンシステムは、各ウェハがプロセス内で正確に説明されるようにします。一方、高度なビジョンとアライメントユニットは、適切なスロットまたはシリンダに正確に適合し、厳しい公差があります。このウェーハハンドラには、調整可能な垂直高さマシンも含まれており、異なる厚さのウェーハに対応するために、ウェーハハンドリングベイの高さを簡単に調整することができます。統合されたウェーハハンドリングベイは、KLA-Tencorウェーハマッピングエアベアリングステージ、ファッソンインデクサモーター、ストラテックスウェーハチャック、トロニテックスウェーハスタビライザー、Singoramaウェーハの選別および整列コンポーネント、およびエラーのない動作を保証するその他のメカニズムを含む、さまざまなプロセス関連コンポーネントを提供します。統合されたオールインワンウェーハハンドリングベイ設計により、ハンドラーは最大24個のウェーハを同時に処理することができ、ウェーハハンドリングプロセスの利便性と精度をさらに向上させます。また、このハンドラはカスタマイズ可能なプログラムを提供しており、ユーザーはPCベースのプログラミングの必要性を排除して、統合コントローラ内のすべてのプログラムを選択、実行、デバッグ、および保存することができます。ユーザーインターフェイスは直感的で使いやすく、ハンドラーの動き、センサーの監視、安全なアクセス、および統計的なプロセス制御を制御するためのさまざまなオプションを提供します。耐久性のある設計はまた耐食性および温度の許容、いろいろ粗い条件の信頼できる操作を保障します。全体として、 201600-91-0001は幅広い半導体製造プロセスのための高度なウェーハハンドリングソリューションです。そのモジュラー設計は、効率と精度を向上させながらも、多くのプロセスコンポーネントとカスタマイズ可能なプログラムオプションを提供します。その直感的なユーザーインターフェイスは、ハンドラーの動きを簡単に制御し、センサーを監視し、プロセス統計を監視するためのさまざまな機能を提供します。信頼性が高く効率的で堅牢なウエハハンドラで、一貫した高品質の結果を提供します。
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