中古 BROOKS AUTOMATION 199630-0001 #293670619 を販売中

BROOKS AUTOMATION 199630-0001ウェーハハンドラは、100mmから300mmまでのさまざまなウェーハサイズに対応した汎用性の高い複数チャンバー設計です。高度なウェーハハンドラ設計により、異なる径のウェーハを取り扱う場合に優れた性能を発揮し、シリコンウェーハ製造および加工に最適なソリューションです。チャンバーボディと蓋は頑丈な耐食性ステンレス鋼で構成されており、フレームは溶接されたアルミニウム押出材でできています。199630-0001設計は、エンコーダ制御のラップアラウンドベルトシステムを備えており、材料の跳ね上がりを低減し、プロセスチャンバ間で一貫した滑らかなウェーハ転送を提供します。ベルトの動きはアシメトリックであり、ウェーハがチャンバー内の他のコンポーネントや材料と接触したり干渉したりすることなく動くようにします。このドライブは、さまざまなウェーハサイズに最適なベルト速度と加速を可能にするために調整することができます。BROOKS AUTOMATION 199630-0001の内部コンポーネントは密閉された環境に囲まれており、クリーンで乾燥した処理環境を確保します。チャンバーを通る気流は、電子ファン速度調整機能を備えた調整可能なファンシステムによって制御され、排気はフィルターと統合されます。この最適化された環境は、ウェーハ上の材料の昇華と凝縮を低減します。ウエハハンドラは、USBリンクPCソフトウェアを介して監視および制御されます。エラーが検出されると、エラーコードが表示され、問題が発生する前にチャンバーが停止するため、ウェーハの損傷の可能性が低減されます。このソフトウェアは使いやすさのために設計されており、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと自動化されたセットアップルーチンを備えています。199630-0001は効率的で信頼性が高く経済的なウェーハハンドリングシステムです。バックサイド接触開口部、PH3成膜、導電性または誘電性スパッタ蒸着などのプロセスに最適な性能と完全な環境制御のために設計されています。多数の部屋の設計は容易にさまざまなウェーハのサイズを収容でき、調節可能なファンの速度および制御された環境はウェーハのきれいで、安全な処理を保障します。このソフトウェアは、自動化されたセットアップルーチンとエラー検出機能を備えた簡単な操作制御を提供します。この信頼性の高い精密ウェーハハンドラは、シリコンウェーハファブリケーターや慎重で正確なウェーハハンドリングを必要とするその他のアプリケーションに最適です。