中古 BROOKS AUTOMATION 162386 #293665805 を販売中

BROOKS AUTOMATION 162386は、ウェハハンドラモジュールです。ウェハハンドラモジュールは、ウェハハンドラの製造ライン内の処理段階間でウェハを安全に輸送するように設計されています。このモジュールは、マイクロステッピングモータ、光学エンコーダ、駆動回路などのさまざまな技術を活用して、最高の効率と精度を提供するように設計されています。ウェーハハンドラは、モータ駆動の軸とコンベアを使用して、ウェーハとそのキャリアを処理チャンバ内、外側、および周囲に移動させます。ロボットは、コンピュータベースの制御装置からのコマンドを受け入れるコントロールパネルを介して制御されます。この制御システムは、用量や熱均一性制御など、特定のタスクの自動化のためにプログラムすることができます。光学エンコーダは、可動部品の速度、方向、位置を監視するために使用されます。マイクロステッピングモータを使用して正確な動きと位置決めを行い、ロボットが加工チャンバーに材料を正確に堆積させることができます。駆動回路はモータの電流と電圧を監視し、ロボットを安全で信頼性の高い方法で動作させることができます。162386は、工場内の他のロボットとのインターフェースや、ウェハロードロックやロボット搬送ユニットなどのさまざまなプロセス制御を行う機能を備えています。内蔵の通信機能により、ウェハハンドラを他のシステムに接続して分析と最適化のためのデータを収集することができます。さらに、ロボットを使用して、閉まっている、または人間がアクセスできない処理ラインの一部にアクセスすることができます。ウェーハハンドラは、さまざまなウェーハ処理環境で使用するために安全で信頼性の高いように設計されています。その構造は化学抵抗力がある部品、また危険な状態を検出するためにさまざまなセンサーおよび警報を含んでいます。ロボットの安全動作は、組み込みの安全機能によって保証されています。BROOKS AUTOMATION 162386ウェーハハンドラは、ウェーハの安全で効率的な取り扱いのために設計された非常に信頼性が高く汎用性の高いマシンです。様々な材料を加工し、他のロボットや生産ラインとのインターフェースを可能にすることで、幅広い用途でご利用いただけます。ロボットの設計には最新のオートメーション技術が組み込まれており、安全性、信頼性、精度を確保しています。