中古 BROOKS AUTOMATION 152465 #9381624 を販売中

BROOKS AUTOMATION 152465ウエハハンドラは、小型半導体デバイスの高精度で迅速な移動を可能にする、完全に自動化されたロボットマテリアルハンドリング装置です。16スロットのインデックス付きバッファプレーン内に最大2つの1/4インチ径のウェーハを収容可能で、最大700ウェーハ/時間のウェーハ出力を備えた自動ウェーハ転送用の統合ソリューションを提供します。152465ウェーハハンドラには、さまざまなウェーハハンドリング操作を制御および実行するためのAllen-Bradley SLC-500 Programmable Log Controlプロセッサが装備されています。SLC-500プロセッサは、メニュー駆動メニューとユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、直感的なプログラミングと操作を可能にします。プロセッサにはオペレータインターフェイスが内蔵されており、ユーザーはウェーハの処理操作を監視するだけでなく、さまざまな機能をプログラムおよび制御することができます。BROOKS AUTOMATION 152465ウェーハハンドラは、高い精度とスループットでウェーハをある平面から別の平面に移動することができます。それに400mm/sの移動速度があり、急速で、正確な動きを支えます。また、ウェーハカセットから直接ウェーハを取り出して配置することで粒子状汚染を低減するための真空リフト装置を内蔵しています。152465ウェーハハンドラは、エポキシ強化安全フレーム、緊急停止コマンド、および衝突防止のためのデュアルビーム安全センシング技術を含む統合された安全機能で設計されています。積み過ぎ検出システムを内蔵しており、積み過ぎによる機械的損傷を防ぎます。機械は証明されるセリウム、cTUVus、 UL、 RoHSおよびCSAです、質および信頼性を保障します。また、BROOKS AUTOMATION 152465ウエハハンドラには、アクティブバイブアイソレーションユニット、手動緊急シャットオフスイッチ、ノイズリダクション機が搭載されています。メンテナンスパネルに簡単にアクセスでき、モジュラーシャーシとレールツールにより簡単なメンテナンスが可能です。また、プログラムデータを格納するためのEEPROMメモリバックアップもあります。全体として、152465ウェハハンドラは、高い精度とスループットでウェハを転送することができる堅牢で信頼性の高い材料処理デバイスです。ユーザーフレンドリーで、半導体産業の自動生産ラインでの自動ウェハ転送に適しています。