中古 BROOKS AUTOMATİON 145843 #9381616 を販売中

ID: 9381616
Wafer pre-aligner.
ブルックスオートマチック145843は、半導体製造用に設計された高精度ウエハハンドラです。このハンドラは、品質を確保し、不要な損傷を防止しながら、安全かつ正確な方法で半導体ウェーハのバッチをロードおよびアンロードすることができます。高度な自動化機器を搭載しており、遠隔操作や自律運転が可能です。このハンドラは、高速かつ正確なウェーハの積み下ろしを可能にする高精度の駆動システムを備えています。調節可能なグリッパーユニットと高度なモーションコントロールマシンにより、さまざまなサイズと厚さのウェーハに対応できます。モーションコントロールツールは、正確なモーションコントロールとスムーズな操作を提供し、ユーザー定義の速度と加速を可能にします。ハンドラーはまた、処理されたウェーハの汚染と環境の汚染を防ぐように設計されています。フラットベルト設計と内蔵の振動絶縁アセットにより、ウェーハの積み降ろし時のストレスを最小限に抑えます。また、光学センサーや汚染モニタリングモデルを搭載し、ウェハハンドリング作業者のクリーンルームを確保しています。このハンドラには温度制御されたキャビネットが取り付けられており、ウェハハンドリング作業に最適な環境を確保するのに役立ちます。温度範囲は10-38°Cから調節可能であり、特定のウェーハ処理プロセスに適した動作を保証します。また、ウェーハが意図せず温度範囲外で処理された場合、オペレータに警告するアラームも装置に組み込まれています。ハンドラーはPLC制御され、インターネットを介したリモート監視と制御を含む高度なオートメーション機能を備えたLinuxオペレーティングシステムで動作します。それは自己調節の速度制御、二重肯定的な自己中心、および同時に自動停止プログラミング機能を含む多数の保護システムが装備されています。また、高度な診断システムを使用して、プロセスエラーの原因と予防措置について詳細な情報を提供し、ヒューマンエラーを低減します。145843ウェーハハンドラは、損傷や汚染を避けながら、効率的かつ安全にウェーハを処理するように設計された高精度デバイスです。高度なオートメーション機能により、自律的に動作し、ウェーハの正確な積み下ろしと不要な故障を防止します。その汚染モニタリングと温度制御ユニットは、ウェーハ処理プロセス中の環境が最高基準を満たしていることを確認します。全体として、ブルックスオートマチック145843は、あらゆる半導体製造設備に最適です。
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