中古 BROOKS AUTOMATION 143668 #9254402 を販売中

BROOKS AUTOMATION 143668は、加工ラインを通じて半導体を迅速かつ効率的に移動するように設計されたウェハハンドラです。143668ウェーハハンドラは、高トルク多軸運動を利用して、最大直径6インチ（150mm）の基板を、長く真っ直ぐな断面またはカーブの周りに、追加のハードウェアなしで搬送することができます。BROOKS AUTOMATION 143668は、3°C〜40°Cの範囲を使用して、加熱ウェハチャックまたはコールドプレートの温度を正確に制御することもできます。このユニットにはプログラマブルロジックコントローラが標準装備されており、オペレータはさまざまなワークフローを設定および実行できます。143668は3つの独立した運動軸と最大7kgの積載量を備えています。2つの垂直軸はウェーハハンドリングアームを上下に移動させ、3つ目の軸は基板キャリアの間を移動します。3Dモーションを作ることができる多軸装置です。アームの最大ストロークは417mmで、サイクルタイムは8秒です。BROOKS AUTOMATION 143668ウエハハンドラは、安全性、バッテリー不要の操作、簡単な統合、およびプロセスの信頼性のために設計されています。このユニットには、簡単なプログラミングと操作のためのEasy EDMソフトウェアパッケージが付属しています。EDMソフトウェアを使用すると、オペレータは個々のプロセスに固有の顧客定義のワークフローを作成できます。電源は外部のACラインから直接供給されるため、煩雑なバッテリー交換が不要です。また、143668の性能と状態に関するリアルタイムのフィードバックを提供する高度な電子監視システムを備えています。BROOKS AUTOMATION 143668ウエハハンドラには、プロセス効率と信頼性を最大化する多くの機能があります。統合された触覚フィードバックユニットは、ウェーハアライメントに関するEDMソフトウェアにリアルタイム情報を提供します。これにより、オペレータは基板の位置を正確に制御し、ミスアライメント関連の欠陥を最小限に抑えます。ハプティックフィードバックマシンは、ステーションからステーションに移動する際のウェーハの進捗状況に関する情報を提供することもできます。143668は、あらゆるプロセスのニーズに対応する強力で信頼性の高いウェハハンドラです。その高トルク多軸運動は、曲線または直線経路に沿って効率的な基板移動を可能にします。Easy EDMソフトウェアパッケージと、精密ウェーハアライメント用の触覚フィードバックツールが付属しています。電源は直接外部ACラインを形成するため、煩雑なバッテリー交換が不要です。このユニットには、さまざまな温度制御オプションが付属しているため、さまざまな温度に適しています。機能と機能を備えたBROOKS AUTOMATION 143668ウェハンドラは、基板プロセスに最適です。