中古 BROOKS AUTOMATION 143668 #9254132 を販売中

BROOKS AUTOMATION 143668は、プロセスおよびストレージアプリケーションにおけるウェーハの正確かつ正確な処理と処理を提供するように設計された高性能ウェーハハンドラです。構成可能な数のオプションコンポーネントと組み合わせて、高スループットを提供します。143668ウェーハハンドラは、ポートのロードとアンロードポート構成が可能です。特定のビューとロード選択機能を備えており、迅速なウェハローディングが可能です。このユニットには統合されたプロセス制御装置が装備されており、すべての自動化されたプロセスのオペレータ制御の1ポイントを備えています。このシステムには、ウェーハの動きとステータスイベントの検証と追跡のための堅牢なデータロギングユニットも含まれています。ウェーハハンドラには、ウェーハを安全かつ確実に移動させるために設計されたヘビーデューティ輸送機構が装備されています。ロボットアームが内蔵されており、マシン全体の指定された場所にウェーハを取り出して配置することができます。統合されたコンベヤー機械は環境への最低の露出のポイントからポイントにウェーハを動かすように設計されています。ウェハハンドラは複数の工程が可能で、フォトレジストコーティングやスピンコーティングに適しています。温度、圧力、その他の条件を検出し、プロセスの一貫性を確保するさまざまなセンサを備えています。このユニットは、統合された空気パージ工具によって粒子の汚染を最小限に抑えるように設計されています。BROOKS AUTOMATION 143668ウエハハンドラは、最適な性能、信頼性、安全性を実現するように設計されています。それはオペレータがプロセスを容易にプログラムし、監視することを可能にする使いやすいLCDのタッチ画面インターフェイスを特色にします。ウェーハハンドラには、ウェーハや機器自体の損傷を防ぐための安全機能も内蔵しています。この高度なウェーハハンドラは、あらゆるウェーハ処理および保管施設に最適です。信頼できる性能と効率的な操作により、143668はウェーハ処理プロセスの精度と精度を確保するのに役立ちます。