中古 BROOKS AUTOMATION 140392 R #293664130 を販売中
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BROOKS AUTOMATION 140392 Rウェーハハンドラーは、優れた精度でウェーハを加工、転送、および整列するためのコンパクトで効率的なオートメーションソリューションです。これは、複数のウェーハキャリア間を操作しながら、材料が相互に汚染されないように設計されています。このユニットはオープンアーキテクチャのシステムで、リニアモータとエンコーダを使用して正確なウェーハ処理を行います。転送ルーチンを使用することで、さまざまな標準サイズとウェーハの厚さを正確かつ損傷なく処理できます。精度の高いフィードバックループでロボットを制御し、動き、速度、位置を積極的に監視し、デバイスの動きを完全に制御することで、システムの高精度を実現します。140392 R Wafer Handlerには直感的なコントロールパネルが装備されており、オペレータは簡単に自動化されたプロセスを設定および管理できます。統合されたプロセス監視システムにより、ユーザーはリアルタイムでジョブを追跡し、進捗状況を監視できます。また、複雑なステップウエハや大型ディスクなどのカスタムコンポーネントにも対応可能です。搬送ロボットは、各生産ラインのニーズに合わせてカスタマイズできる柔軟なモジュール構造で設計されています。様々なウエハキャリアに対応し、最大350mmまで対応可能です。移動ロボットは、上下の位置または横の配置のいずれかで動作するように設定することができ、ロボットの動作範囲を最大化することができます。BROOKS AUTOMATION 140392 R Wafer Handlerのオープンアーキテクチャ設計により、ビジョンシステムやWebハンドラなどの他の自動プロセスと容易に統合できます。これにより、生産ラインを細くすることができ、クロス汚染に伴うリスクを低減し、スループットを向上させることができます。さらに、搬送ロボットを簡単にプログラムおよびカスタマイズできるため、複雑なプログラミングや機械的な調整を必要とせずに、オペレータはプロセスの変化に簡単に対応できます。140392 Rウェーハハンドラーは全体的に効率的で信頼性の高いソリューションであり、高い精度でウェーハを処理、転送、および整列させます。直感的なコントロールパネル、カスタマイズ可能なトランスファーロボット、オープンアーキテクチャの統合機能を備えているため、工業生産に最適です。
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