中古 BROOKS AUTOMATION 138150 #293633715 を販売中

BROOKS AUTOMATION 138150ウェーハハンドラは、材料加工および生産作業に使用するために設計された自動ウェーハアライメントおよびハンドリングツールです。このウェハハンドリング装置は、直径12インチまでのウェハーの積み込み、転送、整列、アンロード、および取り扱いが可能です。138150には高度なビジョンシステムが装備されており、ウェーハの位置合わせと取り扱いにおいて正確な位置合わせを保証します。BROOKS AUTOMATION 138150には、市場で最も効率的で信頼性の高いウェーハハンドリングシステムの1つになるいくつかの重要な機能があります。ウエハアライメントやハンドリング操作時の正確なアライメントを確保するため、± 0。1mmの再現精度を備えています。また、ウェーハの中心位置を0。15mm ±に調整できる自動ウェーハセンタリングマシンを搭載し、さらなる精度と信頼性を高めています。138150は、高いスループット性能を確保するために、よく考えられた真空ベースのウェハローディングツールを使用しています。このアセットは、2つの専用の真空パスを使用して、ウェーハを迅速かつ正確にモデルにロードします。また、大容量ロードロックを搭載し、複数のウェーハを同時に高速かつ効率的に取り扱うことができます。BROOKS AUTOMATION 138150のウェーハハンドリングシステムには高速リニアアクチュエータユニットが搭載されており、0。5mm ±の位置決め精度で高速かつ正確なウェーハアライメントとハンドリングが可能です。このリニアアクチュエータマシンは、高度なビジョンテクノロジーによりさらに有効になり、138150は、アライメント操作を行う前にウェハエッジマークやその他のウェハ固有のマーキングを正確に読み取ることができます。BROOKS AUTOMATION 138150には、プロセスの自動最適化と制御を可能にする高度なプロセス制御ツールも装備されています。このプロセス制御アセットにより、オペレータの介入を最小限に抑えてウェーハ処理を行うことができます。このモデルは、特定のプロセスレシピに設定することもでき、事前にプログラムされた、繰り返し可能で、より迅速に実行できる標準化された操作を可能にし、ダウンタイムを最小限に抑え、生産を最適化します。BROOKS AUTOMATION 138150ウェーハハンドラは、材料加工および生産作業に使用するために設計された、高効率で信頼性の高い自動ウェーハアライメントおよびハンドリング装置です。高速リニアアクチュエータユニット、真空ウェーハローディングマシン、自動ウェーハセンタリングツール、高度なビジョンアセット、高度なプロセス制御モデルを備え、信頼性の高い正確なウェーハハンドリング操作を実現します。138150は最大12インチ径のウェーハに対応可能で、0。1mm ±の再現精度を実現しています。この装置は、高効率で信頼性の高いウェハハンドリング操作を必要とするあらゆる材料加工や生産作業に最適なオプションです。