中古 BROOKS AUTOMATION 121655 #9232807 を販売中

BROOKS AUTOMATION 121-655は、効率的なウェーハ輸送と分配のために設計されたウェーハ処理装置です。最大4つの8インチウェーハを一度に輸送および分配するために使用できます。このシステムは、主に半導体製造および試験室、ならびに様々な研究機関のツールに使用されています。ユニットには交換可能なモジュールが装備されており、ユーザーのニーズに応じたカスタマイズが可能です。このモジュールには、調整可能なオープンロード/アンロードチャンバー、ウェーハトランスポートアンドラッチ、ウェーハストレージ容量、および精密計測コンポーネントが含まれています。このウェハハンドラは、高性能運転のための複数のエアベアリングベースの軸を持ち、さまざまなウェハハンドリング機器と互換性があります。この機械には、自動化されたオープンロード/アンロードチャンバーとモーションコントロールツールという2つの主要コンポーネントがあります。前者は、半導体ツールからのウェーハの正確で高精度で迅速なロード/アンロードを提供します。また、作業前後の操作チャンバ内にウェーハを正確に配置するための資産も含まれています。モーションコントロールモデルには、ウェーハ交換機構と、最大4つの8インチウェーハをドラムタイプで回転させるダイポジショニング装置が搭載され、積み下ろし時間を短縮します。ウェハハンドリングシステムは、フレキシブルな真空ウェハハンドリングユニット、温度制御機、低接触プラズマプロセスを可能にする機能を備えています。このウェハハンドリングツールは、精度と精度を備えたさまざまな種類のツール間でウェハを転送できる独自の機能を備えています。これにより、ユーザーはウェーハの輸送とストレージに関連する時間とエネルギーコストを削減できます。121-655は、すべてのユーザー要件を満たす信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングアセットです。それは非常にコンパクトでエネルギー効率が高く、最小限のスペースを消費することを保証します。さらに、このモデルは、耐久性と高品質のコンポーネントと使いやすく操作しやすい堅牢でユーザーフレンドリーなソフトウェアを使用して構築されています。この装置は、最高品質と安全基準に準拠して製造されています。