中古 BROOKS AUTOMATION 109473-25 #293757066 を販売中
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BROOKS AUTOMATION 109473-25は、幅広い半導体加工アプリケーション向けに設計されたウェハハンドラです。8インチ、12インチ、あるいはそれ以上のサイズのウェーハフォーマットをサポートすることができます。このモデルは、1分間に最大24個のウェーハを処理できるため、大量生産に最適です。このコンポーネントの頑丈な構造により、温度と湿度のバリエーションがあるさまざまな生産環境での寿命と柔軟性が保証されます。109473-25は、真空ベースのウェーハ搬送装置と高コントラスト検出システムを備えています。このコンポーネントには5つの真空ホールドモーターが装備されており、ウェーハを素早く運び、損傷を与えることなく保護します。真空制御ユニットは、高効率で精密に設計されており、ウェーハアライメントを高精度に提供します。堅牢な統合ウエハハンドリングマシンは、汚染から優れた保護を提供します。特殊なウェハガイドとコレクションビンを備えており、微粒子がツールに侵入してウェーハが損傷するのを防ぎます。また、ウェーハの受信エリアには、環境の清潔さを維持し、ウェーハ成膜の自動プライミングを可能にする特別なセンサーが装備されています。このコンポーネントには、手動および自動プロセスのオプションと、さまざまなプロトコルのプログラム可能な機能が含まれています。手動プロセスは、ユーザーが独自の要件に従ってすべてのパラメータを設定することができますが、自動プロセスは継続的な監視の必要性を排除し、他のより重要なタスクに集中することができます。最後に、コンポーネントの簡単なアクセスと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)は、セットアップ、制御、およびメンテナンスの面でも効率を向上させます。このコンポーネントは、既存の生産ラインに容易に統合できるように設計されており、ハンドリングやプロセス制御の自動化などのカスタマイズ可能なオプションも提供します。さらに、安全保護デバイスだけでなく、コンポーネントのリアルタイムステータスとエラーを提供するユーザーフレンドリーなLEDインジケータも備えています。結論として、BROOKS AUTOMATION 109473-25は、大量生産用に設計された高度なウェハハンドラです。それは容易なセットアップおよび維持のためのユーザーフレンドリーな、統合された技術に加えて優秀なウェーハの輸送そして汚染に対する保護を、提供するいろいろな特徴が付属しています。
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