中古 BROOKS AUTOMATION 107434 #293670597 を販売中

ID: 293670597
Wafer transfer robot.
BROOKS AUTOMATION 107434ウェーハハンドラーは、製造工具とプロセス操作の間でウェーハを転送するために使用される精密で自動化された装置です。107434は、ウェーハの完全性が最優先されている高感度で精密な製造環境で使用するために設計されています。BROOKS AUTOMATION 107434ウェーハハンドラーは、独自の顧客要件を満たすようにカスタマイズできるスケーラブルなシステムであるように設計されています。107434は、精密なアライメントを維持しながら、ツール間で基板を安全に転送する、ユニークな非接触移動アームを備えた真空負荷ウェハハンドラです。トランスファーアームの端にある光を利用してウェーハ上のダイをスキャンし、基板を新しい位置に前進させます。BROOKS AUTOMATION 107434は、振動干渉を低減するために設計された絶縁駆動機構を備えたデュアルインラインハウジングも備えています。これらの機能は、より高い精度と精度を必要とする本番環境において有益です。107434は、ハンドラーが簡単かつ効率的に操作を完了するのを助ける高度で完全にプログラム可能な制御システムを持っています。BROOKS AUTOMATION 107434は、リニア、円形、回転運動から自動アライメントおよびキャリブレーション機能まで、さまざまな機能を備えています。また、部品の自動識別と管理を可能にする統合されたバーコードリーダーと、ウェハロット検証用のオプションのPlate IDリーダーも備えています。107434には直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も装備されており、お客様はユニットを構成して操作することができます。BROOKS AUTOMATION 107434ウェーハハンドラーは、ウェーハの洗浄と表面処理、ワイヤーボンディング、検査、レーザスクライブ、コート/蒸着プロセスなど、さまざまなアプリケーションをサポートするように設計されています。ウエハサイズは、200mm (7。9インチ)から300mm (11。8インチ)の範囲で評価されています。107434に移動操作およびアセンブリが安全な方法で完了することを保障するように設計されている必要な安全連結機械があります。全体として、BROOKS AUTOMATION 107434 Wafer Handlerは、機密性の高い生産環境で使用するために設計された高度に専門化された完全に自動化されたツールです。その高度なプログラミング、安全機能、およびカスタマイズ可能なコンポーネントにより、107434は、ウェーハクリーニング、ボンドワイヤーボンディング、レーザスクライブ、コーティング/蒸着プロセスなど、さまざまなアプリケーションに理想的なソリューションとなります。
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