中古 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 #9204645 を販売中

BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78は、加工、試験、計測ステーション間の半導体基板を簡単かつ効率的に移動するように設計されたウェハハンドラです。リニアベアリング、ボールネジ、ロータリーアクチュエータ、リニアアクチュエータなどの堅牢な構造と精密部品により、スムーズで信頼性の高いウェハハンドリング性能を保証します。この装置は、インターフェイスロジック、安全インターロック、精密モーションコントロールを備えているため、ユーザーの既存の生産環境に簡単に統合できます。このウェハハンドラは、幅広い機能とオプションを備えています。カセット、FOUP、およびFOSBからのオプションのロードとアンロードだけでなく、自動、半自動、または手動操作を可能にします。そのインターフェイスロジックは、双方向通信、システム診断およびデータロギング、および真空、ブレード、冷却、およびビジョンシステム用の幅広い外部ドライバをサポートしています。ウェハハンドラは、デバイスと環境を保護するために、圧力リリーフバルブ、安全インターロック、安全障壁、および電磁シールドなどの安全機能を備えています。ウエハハンドラは、200mmおよび300mmの基板を含むさまざまな基板サイズで動作するように設計されています。その積載量は120KGであり、負荷高さの範囲は150mmから1150mmです。装置は200mm/sまでの移動速度を可能にする高度の動き制御技術が装備されています。また、0。008mmの再現性で、高精度な動きと精度をサポートします。このウェハハンドラは、ブラシレスサーボモータ、ベルトドライブ、および高効率スイッチングレギュレータを含むエネルギー効率の高いコンポーネントで設計されており、高性能とエネルギーコストの削減を実現しています。このデバイスは長期的な性能のために設計されており、メンテナンス要件は最小限です。すべてのユニットコンポーネントのインテリジェントな監視が提供されているため、問題になる前に潜在的なメンテナンス要件を特定できます。また、ウェハハンドラは信頼性が高くユーザーフレンドリーなオペレーティングマシンを備えており、デバイスのセットアップとプログラミングを簡素化します。加速、減速、速度、開始および停止位置、およびステップおよび繰り返し操作を含む構成可能な変数の広い範囲を、支えます。これにより、ユーザー固有のニーズに合わせてデバイスを簡単にカスタマイズできます。全体として、02110-BA24-AJY1 003-9300-78ウェハンドラは、半導体基板の取り扱いを自動化する優れたデバイスです。その高性能モーションコントロール技術、高度な安全機能、長期的な信頼性とシンプルなセットアップは、あらゆる自動製造環境に最適です。