中古 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02 #9204641 を販売中

BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02は、高度な統合機能とロボットハンドリングシステムを提供するように設計されたウェハハンドラで、ウェハレベルのワークフローでプロセスと手順を合理化します。このハンドラーは、ソフトウェア制御された高速ウェーハ転送と、ウェーハの検出と認識に使用される高度なビジョンツールで設計されています。このハンドラは、1つのプロセス・チャンバから別のプロセス・チャンバへの個々のウェーハまたは複数のウェーハのエントリ、出口、および輸送を自動化するように設計されています。ハンドラーは最小限のハンドリング力で機能するように構築されており、破損のリスクを低減し、動作速度を向上させます。最大ペイロード能力は1。5キログラムで、このハンドラは自動化された生産プロセスのための強力なツールです。自動化されたハンドラは、クラスのクリーンルーム、セミクリーンルーム、および危険なガス制御動作モードなど、複数の環境で動作するように設計されています。ハンドラーは直感的なユーザー制御のための直感的な人間機械インターフェイスを備えています。GUIにより、機械のセンサーとエンドエフェクターを物理的に簡単に構成できます。また、グラフィカルまたは表形式でシステムをリアルタイムで視覚化することもできます。このハンドラーには、さまざまなプロセスに簡単にアクセスできる組み込みのレシピライブラリも含まれており、プロセスのニーズの変化に応じて継続的に改善することができます。02110-BA24-AJY1 002-4037-02ウェハンドラには、さまざまな安全機能が搭載されています。それはmishandlingの潜在的な危険から保護するために調節可能な安全囲うこと、フォトメトリックセンサーおよび二重段階のE停止を含んでいます。コンジット内の粒子を正確に移動させるための高度な運動制御ソフトウェアと、プロセス材料の不要な汚染を低減する専用のウェハサポートシステムを備えています。また、安全な動作を確保し、自動エラー訂正による機械的またはソフトウェアの故障のリスクを低減するための包括的な安全チェックも提供します。全体として、BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02は、ウェハレベルのプロセスワークフローの自動制御を可能にするさまざまな高度な機能を備えた強力な産業用ウェハハンドラです。ソフトウェア制御機能と安全機能により、プロセスの効率を最大化し、機密材料の取り扱いに伴うリスクを最小限に抑えるための理想的なツールとなります。