中古 BROOKS AUTOMATİON 003-9010-03 #293595618 を販売中

ID: 293595618
Vacuum cassette elevator (VCE6).
ブルックスオートマチック003-9010-03は、要求の厳しい半導体製造プロセスの要求を満たすように設計された汎用性の高いウェハハンドラです。堅牢で信頼性の高い構造により、幅広い条件で直径200mmまでのウェーハに対応できます。003-9010-03は、クリーンルームまたは標準的なESD環境で幅広い基板を取り扱うことができます。フロントサイドとバックサイドの両方のデバイス処理に適しています。ブルックスオートマチック003-9010-03ハンドラーは、幅広いプロセス制御機能を提供し、ブルックスオートマチックの独自の適応信頼性技術(ART)を搭載しています。ARTは、ハンドラーが時間の経過とともに最適に動作するように設計されており、予測保守機能とエラー診断機能を備えているため、大量生産環境に最適です。003-9010-03ハンドラにはオプションの統合ビジョンおよび計測システムが用意されており、ウェーハの特徴と欠陥を自動的に測定および分析できます。これにより、OEMとエンドユーザーは高精度で一貫したウェーハ処理を可能にし、プロセスのスループットを最適化できます。ブルックスオートマチック003-9010-03ハンドラは、ハイスループット用途向けに設計されており、幅広い温度、湿度レベル、汚染条件で機能することができます。このハンドラは、さまざまな自動プロセス管理システムと完全に互換性があり、ハンドラの操作を迅速かつ簡単に制御し、より大きな半導体製造プロセスに統合することができます。003-9010-03は信頼性と費用対効果に優れたウェーハハンドリングソリューションであり、OEMとエンドユーザーにプロセスのニーズに対応する堅牢なプラットフォームを提供します。このハンドラは、ウェーハサイズやタイプの広い範囲に適しており、他のBROOKSオートマチックシステムと互換性があります。その高度なプロセス制御と信頼性機能により、BROOKS AUTOMA 003-9010-03は、大量および半導体生産環境に最適です。
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