中古 BROOKS AUTOMATION 003-7200-23 #9226630 を販売中

ID: 9226630
Backbone platform BROOKS 003-1600-32 Mag 7 Robot BROOKS 002-4037-03 Power pack (2) BROOKS 003-9010-03 VCE 6 Vacuum cassette elevators (2) VAT 0310X-CA24-AKK3 Rectangular gate valves BROOKS Pre-aligner BROOKS Mag 7 arm set BROOKS 002-7090-04 Aquatran wafer handling robot BROOKS 101374 Robot controller (2) BROOKS 002-7200-21 Load ports.
BROOKS AUTOMATION 003-7200-23は、半導体業界における正確で信頼性の高いウェハハンドリングと位置決めのために設計されたウェハハンドラです。BROOKS AUTOMATIONスイートウェハンドラの最新モデルであり、ウェハグラブと配置のための優れた精度レベルを提供します。この装置は、統合された二軸サーボモータによって駆動され、ウェーハハンドラ内の優れた正確で信頼性の高い動作機能を保証します。このサーボモータは、ウェーハ配置用のX、 Y、 Z軸、ウェーハサイズ選択用の2軸、アライメント用の傾きと回転の5軸までサポートできます。内蔵のPIDモーションコントローラは滑らかでリアルタイムのモーショントレージェクトリを提供し、内蔵の位置エンコーダは位置フィードバックを提供して正確で信頼性の高いウェーハ位置決めを保証します。また、ビジョンシステムも統合されており、ウェーハを正確かつ正確に配置することができます。このユニットは、高効率で費用対効果の高いように設計されています。ウェーハを効率的に処理し、スループットを最大化すると同時に、新しいウェーハをアンロードおよびロードするためのダウンタイムを最小限に抑えることができます。さらに、ウェーハの迅速かつ簡単な積み下ろしを可能にする選択的な輸送メカニズムが組み込まれています。直感的でユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイは、マシンのセットアップと操作を簡単にし、モジュラー設計はアップグレード可能で柔軟な構成を可能にします。このマシンはまた、堅牢性と長寿命のために設計されており、長期的に正確で信頼性の高いウェーハハンドリングを提供します。このツールは、極端な動作条件のために設計されており、統合された環境制御資産が装備されています。さらに、このモデルは、機器コンポーネントの定期的なメンテナンスと校正を容易にし、最高のパフォーマンスを保証するように設計されています。003-7200-23ウェーハハンドラは、高い精度と信頼性を必要とする半導体製造アプリケーションに最適な、高度で信頼性の高い効率的な統合ウェーハハンドリングシステムです。
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