中古 BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 #9149716 を販売中

BROOKS AUTOMATION 003-5000-11は、半導体ウェーハの精密な取り扱いが最優先されている研究室や研究施設での使用のために設計された先進的なウェーハハンドラです。この自動化されたハンドラは、ホットエッジとコールドウォール真空設計を内蔵した200mm〜300mmウェハに対応できます。ウエハハンドラは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンUIによって制御され、4軸ロボットアームを備えています。このロボットアームは50mmの動作範囲を持ち、最大25kgの材料を運ぶことができます。003-5000-11はモーションセンサーおよび低雑音および安定した基質の移動のための高精度の線形動きの段階と造られます。リニアモーションステージは可変速度制御を備え、最高速度は200rpmで、解像度は0。1ミクロンよりも優れています。また、ウェハハンドラには、正確な基板配置のためのFAPS （Fully Automated Pre-Alignment Stage）も搭載されています。FAPSは、On-AxisとOff-Axis照明を備えた2台の1。8インチCCDカメラを使用して、正確なアライメントを実現しています。BROOKS AUTOMATION 003-5000-11は、ウェーハの主な取り扱い機能に加えて、複数の安全機能とインターロックを備え、偶発的な動作を防止します。プレプロセスおよびポストプロセス部品およびツーリング、および電磁干渉（EMI）フィルタ、および手動緊急停止ボタンを内蔵しています。さらに、ウェハハンドラは、セミシールされた審美的なデザインを組み込むことで、洗浄ニーズを最小限に抑えるように設計されています。003-5000-11は、エッチング、リソグラフィ、ダイシング、ウェハボンディングなどのさまざまな加工技術を使用するように設計されています。動作温度範囲は4〜60°C、相対湿度範囲は30〜95％で、さまざまな環境で使用できます。全体として、BROOKS AUTOMATION 003-5000-11は、すべてのウェハ処理ニーズに優れたウェハハンドラです。さまざまな安全機能を備えた信頼性と精度があり、研究者や技術者が正確かつ自信を持って仕事を遂行することができます。高度にカスタマイズ可能なソフトウェアと統合されたタッチスクリーン制御により、003-5000-11は自動ウェーハ処理に最適です。