中古 BROOKS AUTOMATION 002-9400-04 #9064599 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-9400-04ウェーハハンドラは、複数の大容量ウェーハを正確かつ効率的に転送するために設計された完全に自動化されたウェーハハンドリングツールです。この自動化された装置は、1回の操作で最大4つの6インチウェーハを同時に転送することができ、スループットの向上とボリュームの増加を可能にします。002-9400-04ウェーハハンドラには、8ステーションのカセットシャトルシステムが含まれており、カセットと内蔵スピナーの間でウェーハを正常に移動させるための正確なモーションコントロールを提供します。このトランスポートユニットは、正確で一貫した位置決めを可能にします。BROOKS AUTOMATION 002-9400-04に組み込まれたスピナーは、ローディングおよびアンロード作業中の高精度ウェーハのアライメントと配置用に設計されています。ウェーハハンドラはフィデューシャルマークに基づいて自動的にウェーハを整列させることができ、整列後、正確な向きで自動的にウェーハを転送することができます。002-9400-04は、ウェーハ処理プロセスの完全性を保護するための高度な安全対策を備えています。スピナーの周りに配置されたライトカーテンは、近くに入る人員を検出し、自動的にスピンナストッパーを作動させ、誰かがウェーハローディング/アンローディングゾーンに入ろうとするとスピナーが回転を停止するようにします。また、ウェハハンドラには、搬送前後に異物や傷を検知できる視力検査装置が搭載されています。パフォーマンス面では、BROOKS AUTOMATION 002-9400-04ウェハンドラは、幅広いユーザー要件に対応するように設計されています。このツールは、ウェーハサイズ、処理速度、動作時間などの設定を柔軟にカスタマイズできるため、迅速かつ効率的なウェーハローディング/アンロード操作が可能です。ウェハハンドラには、さまざまな診断機能とリモート制御機能が搭載されており、資産運用を容易かつ効率的に行うことができます。全体として、002-9400-04ウェーハハンドラは、複数の大容量ウェーハを正確かつ効率的に転送する自動化モデルです。統合されたスピナー、輸送機器、安全機能、およびパフォーマンス機能により、大量生産のためにウェーハを正確かつ確実に処理できます。