中古 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635386 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07は、ウェーハスループット、歩留まり、コスト削減を最大化するように設計された自動ウェーハハンドラです。このウェーハハンドラは、統合されたカセットからカセットへの装置であり、ウェーハのロードとアンロードを簡素化できます。高度な制御システムには、高度なマニピュレータモーション、ウェハモーション制御、ツールモーション制御などの機能が含まれています。ハンドラーは、150mm、 200mm、 300mmのウェーハを渡すことができる従来のカセットからカセットハンドラーに似た角度のマガジンステーションで設計されています。メカニズム、モーター、エレクトロニクスの洗練された組み合わせは、ウェーハを非常に正確に操作します。ステッピングモータと光学エンコーダで正確なアライメントを実現し、リニアモータでは追加のモーションコントロールを提供します。ウェーハハンドラは自動真空チャックユニットを備えており、ウェーハは真空チャックブレードに配置され、マガジンカセットに自動的にロードされます。これにより、ウェハハンドリングプロセスが大幅に高速化され、より効率的になり、マガジンカセットの摩耗が軽減されます。全体の輸送アセンブリは摩擦表面の摩耗を減らすように設計されています。ハンドラーは高いトレーサビリティを提供するように設計されています。これは、RFIDとQRCコードの両方と高度なデータロギング機能を提供しています。このマシンは、より高いレベルのデータトレーサビリティを可能にし、異なる生産ステップの効率的な監視、追跡、監査を可能にします。さらに、このツールは簡単なメンテナンスとサービスのために設計されています。診断テストを自動実行し、詳細な故障診断を提供します。すべてのコンポーネントはモジュール式で簡単に交換可能で、アセットの信頼性と費用対効果が高くなります。002-7800-07ウェーハハンドラは、効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いウェーハ処理方法を提供します。このウェハハンドラは、コンパクトなパッケージで高性能とインテリジェンスを提供することで、半導体メーカーにとって競争力を生み出します。