中古 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635385 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07
ID: 293635385
Robot.
BROOKS AUTOMATION 002-7800-07は、半導体製造用ウェハンドラです。このウェハハンドラは、最大120mm (mm)の直径のウェハーを一度にサポートする堅牢で信頼性の高い設計を備えており、効率的で高スループットの材料処理に最適なソリューションです。002-7800-07は熱電気ノイズが少ないため、超薄型半導体ウェーハなどの繊細な材料の取り扱いに適しています。このウェーハハンドラは、非磁性材料で構成され、汚染を防ぎ、ヴァンデルウェール力を利用してウェーハと基板の接着を緩やかに低減し、ウェーハ交換を容易にします。安全性と利便性のために、ウェハハンドラは、ユーザーが自動または手動で動作するように設定することができます。内蔵の洗練された制御システムは、正確な温度、クランプ、およびリフトサイクル監視を提供し、ウェーハ間の交換に関連するすべての動きがベースプラットフォームの1回転以内に確実に発生するようにします。ウエハハンドラの電子部品は、同梱されている耐腐食性真空シールによって環境損傷から保護されています。BROOKS AUTOMATION 002-7800-07には精密自動ビジョンシステムが搭載されており、ウェーハ間の交換プロセス中に精度と再現性を確保するために、理想的ではないウェーハ配置を監視および補償します。また、統合されたロボットアームは、ビジョンシステムと調和して、対応する隣接する貯蔵タンクから直径200mmのウェーハを12個も正確に積み降ろすことができます。002-7800-07は最も厳密な産業および実験室の環境に抗できる反復可能な、信頼できる物質的な処理を提供するように設計されています。ウェハハンドラは、最も厳しい安全性と品質基準を満たすように設計されており、材料処理のニーズに対応するシンプルで信頼性の高いソリューションです。このウエハハンドラは、正確かつ再現性の高い高スループット材料処理に効果的かつ効率的なソリューションです。
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