中古 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635384 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07は、半導体製造施設でのウェーハ処理を正確かつ効率的に管理するために設計されたウェーハハンドラです。最先端の電気設計を使用して、ハンドリングプロセス全体でウェーハを正確に移動および整列させます。このユニットは高速で高分解能の電気インターフェースを備えており、32ウェハハンドリングサイクルのすべてのステップを正確に制御します。デュアルガントリー設計により、ウェハローディングとアンロードが可能になり、正確なウェハプロセスが可能になります。最初のガントリーは最大4つのウェーハを保持し、45度単位で配置でき、接触せずに2番目のガントリーに移動、整列、転送することができます。2番目のガントリーには16のスロットがあり、ウェーハを適切な場所に回転、整列、転送することができます。コンパクトで効率的なウェーハ加工が可能です。002-7800-07はデュアルレベルの安全装置をalsofeatures。これにより、作業中の人員、オブジェクト、およびウェーハ処理システムの安全性が確保されます。最初のレベルは、開いたときにマシンを無効にするレーザーベースのインターロックユニットであり、2番目のレベルは、ツールの状態をtoactively監視し、障害が発生した場合にユニットをシャットダウンするように設計されています。このユニットは温度に敏感な部品も備えており、さまざまな処理温度を可能にします。ウェーハハンドラのより高度な機能には、統合されたウェーハ位置決めアセットと精密ウェーハのロードインおよびロードアウト制御が含まれます。ウェーハ位置モデルは、ウェーハの位置を永続的に監視し、各ウェーハの高精度なウェーハ移動情報を正確に提供することができます。ロードインおよびロードアウト制御は、ローディングおよびアンロード処理中に各ウェーハの位置と重量を正確に制御します。全体として、BROOKS AUTOMATION 002-7800-07ウェーハハンドラは、ウェーハハンドリングの高効率で高精度な装置であり、半導体製造の生産性を向上させます。最先端の電気設計、精密ウェーハ処理機能、包括的な安全機能を備えた002-7800-07は、あらゆる半導体製造設備に不可欠な要素です。