中古 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635378 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07ウエハハンドラは、高精度ウェハトランスファー、ハンドリング、アライメント用に設計された高度なウエハ操作装置です。シリコンウェーハを正確にピックアップして正確に配置し、さらなる加工や保管を行うために、回転式およびリニアモーションコンポーネントで構成された高度なシステムです。002-7800-07は、精密加工された5軸ロボットエンドエフェクターを使用しており、最適な精度と再現性を実現しています。このエンドエフェクタは、ウェーハインデックス用の2つのリニアトランスファーステージと、平坦性とオリエンテーション制御用の強力な3軸ロータリーアームを採用しています。直線移動ステージはX方向とY方向の両方で平面運動を作成し、回転アームはロール、ピッチ、ヨーの3軸で運動を提供します。これらの動作はすべてサーボモータ制御と駆動ユニットによって管理されており、繊細なウェーハの取り扱いと配置を極めて正確に行うために必要な正確に制御された動作を生成する責任があります。BROOKS AUTOMATION 002-7800-07は、転送中に単一または複数のウェハを保護するために使用できるユーザー選択可能なウェーハクランプ機構も内蔵しています。この堅牢なクランプ機構は電子的に調整可能で、幅広いウエハサイズに対応するように構成することができます。ウェハプリアライメントステージも組み込まれており、ロボットの取り扱い前に正確なウェハロケーションが可能です。002-7800-07はコミュニケーションおよび機械制御のための多数の外的なインターフェイスを提供します。これには、シリアルポート、USB、イーサネット、およびオプションのIEEE 488。2インタフェースが含まれます。さらに、BROOKS AUTOMATION 002-7800-07は、基本的なティーチリピート方式で遠隔操作またはプログラムできます。ロータリーエンコーダのCCD測定アセットとオプションのビジョンモデルを使用して、ロボットエンドエフェクタの位置を監視し、最高精度を得ることができます。全体として、002-7800-07は高度なウェーハ処理装置であり、ウェーハを操作および転送する際に極めて精度と再現性を提供します。パワフルで精密なモーションコントロールと外部インターフェース機能により、ウェーハの製造プロセスを進める上で非常に貴重なステップを提供できます。