中古 BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8 #9292388 を販売中

ブルックスオートマチック002-7394-01 REV B8ウェハハンドラは、クリーンな環境で大型ウェハを扱うために使用される精密ロボット機器です。最大直径200mmのウェーハを安全で優しく正確に取り扱えるように設計されています。ハンドラーは非常に信頼性が高く、堅牢で丈夫な機械設計とカセットの負荷/アンロード機能を備えています。ロボットのベースユニットは、2つの大きな鉄フレームと、ウェハハンドラを確実に取り付けるための大きなベースで構成されています。フレーム設計には最大5Gのダイナミック振動絶縁が含まれており、高い振動環境での使用に最適です。さらに、基盤には最適な粒子制御のためのエアフィルトレーションパスが含まれています。ロボットは、位置精度のための高解像度のロータリーエンコーダとペアリングされた80V DCモータ駆動システムによって駆動されます。このユニットには、ホストマシンに接続するための柔軟な通信ポートが含まれています。ロボットのハンドリング要素は2つのアームで構成されており、どちらも180度の回転で広範囲のウェーハをカバーできます。アームの動きは、エアシリンダー、リニアシャフト、リードねじを組み合わせて駆動します。両アームには、ウェーハのスムーズで安全な取り扱いを確保するため、LEDベースの広角照明とゴムコーティングによるグリッピングパッドが装備されています。さらに、ロボットにはソフトストップとオーバートラベル保護が含まれており、ウェハの安全性を保証します。ロボットには、2つの独立したエンドエフェクターがあり、1つはウェーハグリップ用、もう1つはロータリーテーブル制御用です。ウェーハグリッピングエンドエフェクターには、非接触センシングシステムと、ウェーハをエッジに沿ってグリップするためのマイクロアクチュエータが含まれています。このグリップは、さまざまなサイズのウェーハに対応するように調整できますが、弾性パッドは損傷を防ぐためにフォーム・フィッティング・コンプライアンスを提供します。一方、ロータリーテーブルエンドエフェクタは、安全で再現性のある把握のための滑らかな表面で設計されています。002-7394-01 REV B8ウェハンドラは、プログラム可能なムーブメントコントローラを介して複数のステージを処理することができます。また、ソート、転送、反転、反転などの一般的なタスクのためのいくつかの事前定義されたレシピも含まれています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なインストラクションガイドにより、プログラミングの効率を最大限に高めることができます。ロボットはまた、安全インターロックシステムを備えており、オペレータに対するあらゆる種類の物理的損傷から保護します。最後に、ブルックスオートマチック002-7394-01 REV B8ウェーハハンドラーは顧客満足のための製造業者からの1つの年の保証と来ます。