中古 BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 #293643080 を販売中

ブルックスオートマチック002-7391-47は、半導体メーカーに最適な信頼性の高い産業用グレードのウェハハンドラです。このウェハハンドラはモジュラー設計を備えており、メーカーは装置を正確なニーズに合わせてカスタマイズし、さまざまな種類のロボットアーム、ボート、ビューポートを接続することができます。このシステムは、200mm、 300mm、または500mmなどのあらゆる種類の半導体ウェーハを安全かつ安全に受け入れます。さらに、要求される最高の仕様を満たすために、高レベルの粒子制御と清潔性を備えています。002-7391-47の中心はロボットアームアセンブリです。このフレキシブルでスピンドリーなアームは、ウェーハアライメントと転送に精密な動きを提供します。それはアルミ合金から成り、持ち上がる高さの200mmまで動くことができます源と先のポッド間のウェーハの信頼でき、正確な移動を可能にします。ユニットのもう1つのコア部分はボートアセンブリであり、製造プロセスのさまざまな段階でウェーハを輸送および保管するのに役立ちます。ステンレス製のボートは、異なる直径と厚さの最大200ウェーハを保持することができます。アンチスキップマシンなどの機能を備えた欠陥率が低く、転送時のウェーハ損傷を最小限に抑えることができます。ボートには、過熱を防ぐように設計された安全機構も内蔵されており、オプションの不活性な雰囲気の生成モジュールが付属しています。ブルックスオートマチック002-7391-47もビューポートアセンブリを備えており、オペレータにプロセス全体を通して明確なビューを提供するように設計されています。ビューポートのガラスは遮断されていないため、オペレータは妨げなくウェーハ処理を監視することができます。この上に、ビューポートはガスケットでほこりや湿気に対して密閉されています。最後に、002-7391-47はまた信頼できる性能および容易な維持を保障する高級なアルミニウムおよびステンレス鋼から組み立てられます。すべての部品は精密設計されており、複数のプロセスにわたってスムーズな動作、高い再現性、および精度を実現します。モジュラー設計はまた最低のダウンタイムの容易な取付けのために、作ります。要するに、ブルックスオートマ002-7391-47は、半導体メーカーに最適な信頼性の高い最先端のウェハハンドラです。オールインワンのロボットアーム、ボート、ビューポートモジュールを備え、欠陥率の低さ、スキップ防止ツール、内蔵の安全メカニズムなどの追加機能を備え、柔軟性とスピードを考慮して設計されています。それに高級な構造およびモジュラー設計があり、速く、容易な取付け、維持および信頼できる性能を可能にします。