中古 BROOKS AUTOMATİON 002-7391-33 #9386169 を販売中

ブルックスオートマチック002-7391-33ウェーハハンドラは、あらゆるサイズや形状のウェーハの取り扱いを自動化するために使用されるロボットデバイスです。振り付けパターンでウェーハの向きや位置を正確に制御できる大型ロボットアームを搭載しています。アームは、優れた制御装置を備えたマルチポジションステッピングモータによって駆動され、ウェーハを基板からウェーハに堆積または取り出すことができます。精密な位置決めが可能なアウトライン検出機能を備えた高度なビジョンユニットを搭載しています。また、リニアトランスファーメカニズムを使用して設計されており、正確なアライメントを確保しながら、ウェーハの確実な転送と取り扱いを保証します。さらに、リニアドライブは、ウェーハの間隔を保ち、正確な配置のためにラインで制御します。また、ウェーハ周辺環境の温度・湿度を正確に制御できる温度・湿度センサを搭載しています。温度と湿度の変化により、ウェーハの損傷リスクを最小限に抑えることができます。さらに、このツールには液体を使用せずにイオン洗浄ウェーハ用の空気イオナイザーもあります。これにより、ウェーハは化学物質の不純物や損傷から解放されます。002-7391-33ウェーハハンドラは、クリーンルーム環境での使用のために設計されており、ほこりや他の汚染物質からユニットを保護するためのダストカバーが付属しています。また、ウェーハからのチップや粒子の効率的な収集のための複雑に設計されたクリーンルームグレードの真空が付属しています。さらに、アセットは、最適な効率と制御のために手動または自動モードで動作するように設計されています。結論として、ブルックスオートマ002-7391-33ウェハハンドラは、任意のサイズと形状のウェハの自動処理用に設計された高性能ロボットデバイスです。大型ロボットアーム、アウトライン検出機能付き高度ビジョンモデル、温度・湿度センサー、エアイオナイザー、クリーンルーム等級の掃除機、防塵カバーを装備しています。クリーンルーム環境に最適で、手動モードまたは自動モードの柔軟性により、最大限の制御と効率が保証されます。