中古 BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #9169693 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-7200-21は、半導体製造用途で直径300mmのウェーハをロード/アンロードするために設計された、完全に自動化されたロボットウェーハハンドラです。このハンドラには、効率的で信頼性が高く安全な環境を提供するために協力するさまざまなコンポーネントと機能が含まれています。このハンドラーは、ウェーハ表面に接触しない優しい保護タッチを維持しつつ、ウェーハをしっかり握るためのユニークなメカニズムを誇っています。このグリップ機構は、ブラシレスDCモーターと回転出力カムを使用して、ウェーハ用の2つの独立した真空チャンバーを駆動します。モータはまた、ウェハを安全に保つ真空を助ける低レベルの振動を作成します。さらに、真空はソフトスタートと可変加速と減速プロファイルを備えているため、ウェーハは安全に処理されます。また、処理前後にウェーハを保存するための温度制御ウェーハカセットも備えています。カセットの温度は、最適な性能とウェーハの処理精度を保証する高度な熱制御システムを使用して監視および維持されます。さらに、カセットを素早く簡単に交換できるため、ウェーハを大幅な遅延なく連続処理できます。システム全体が高度な制御ソフトウェアによって監視されます。このオートメーションソフトウェアにより、オペレータはサーボ設定、熱制御システムパラメータ、ウェーハ搬送速度などのパラメータを即座に調整できます。さらに、このソフトウェアは、ハンドラのリモート監視と診断を可能にし、最高レベルのパフォーマンスと信頼性を保証します。このソフトウェアには、asalarm解像度のロギングや自己診断などの機能も含まれているため、問題や障害を迅速に特定して対処できます。全体として、002-7200-21は半導体処理工程において非常に高いレベルの精度と利便性を提供する高度なウェハハンドリングソリューションです。このハンドラーには、メンテナンス要件を最小限に抑えてウェーハを安全かつ安全に輸送するためのさまざまなメカニズムと技術が組み込まれています。最終的に、このハンドラーは、ウェーハ製造プロセスを合理化し、最高レベルの品質と信頼性を確保するための不可欠なツールです。