中古 BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #166859 を販売中
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ID: 166859
FOUP load port module
Includes:
(1) CD-ROM Manual (PDF Files)
(1) Mounting hardware kit
No Controller Software Needed
Field configurable for 13 or 25-wafer FOUP
Ultra-thin profile
User-configured Light Bar.
BROOKS AUTOMATION 002-7200-21は、クリーンルーム環境で動作するように特別に設計された高性能、フルオートウェハハンドラです。直感的な設計により、汚染リスクを低減しながら、迅速かつ効率的に動作できます。人間工学に基づいたオペレータインターフェース、ロボットアーム、一体型ビジョン装置、先進的なモーションコントロールを備えています。ユーザーインターフェイスには直感的なレイアウトがあり、システムのセットアップと操作に必要な時間を短縮します。ユーザーにはタッチスクリーンディスプレイが提供され、ユニットの状態でユーザーに視覚的なフィードバックを与え、マシンのセットアップと設定に費やす時間を短縮します。オペレータインターフェイスにより、オペレータはプロセスの開始と停止、機械の構成、アラームなどの情報に簡単にアクセスできます。ロボットアームはカーボンファイバーで構成されており、従来モデルよりも柔軟性と強度が向上しています。これにより、ロボットアームはウェーハをある場所から別の場所に素早く正確に移動できます。また、センサーとセキュリティシステムを内蔵し、ウェーハを落とさないようにしたり、汚染物質の近くに配置したりすることもできます。統合ビジョンツールにより、ウェーハハンドラはウェーハの向きを認識し、それに応じて処理することができます。また、ウェーハの欠陥や異常を検知することができ、取り外しや交換が容易です。高度なモーションコントロール機能により、処理時間を短縮し、ウェーハのスループットを向上させます。アセットに精密アルゴリズムを組み込むことで、ウェーハの移動や取り扱い時の機械の制御と精度を向上させ、ウェーハの配置と取り外しの精度を向上させます。全体として、002-7200-21は優れたオールインワンウェハンドラであり、モデルのセットアップにかかる時間を短縮し、スループットを向上させ、クリーンルーム環境における汚染リスクを低減します。人間工学に基づいた設計、高度なモーションコントロール機能、統合されたビジョン、直感的なユーザーインターフェイスにより、ウェーハを迅速かつ正確に簡単に処理できます。
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