中古 BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #9386160 を販売中

BROOKS AUTOMATION ATR-7は、半導体の生産におけるファブ操作のための異なる自動タスクを実行できる多目的ウェハンドラです。プロセスチャンバ、クリアステーション、クリーンルームでの使用に最適で、ウェーハを効率的に移動、輸送、処理するための費用対効果の高いソリューションを提供します。ATR-7は、新しいビジョンシステムを利用して、その環境内のオブジェクトを正確に識別し、操作することができます。ビジョンシステムを使用して、ATR-7はウェーハを識別するだけでなく、操作と処理のためのウェーハ上の特定のポイントを見つけることができます。密度の高いウェーハストレージを提供し、カセットからロードとアンロード中に部分的なウェーハ、またはフラクショナルなウェーハを保管および輸送するために使用できます。また、ATR-7は最大のスループットを可能にし、ウェーハ処理の柔軟性を提供し、アプリケーション固有のニーズとの互換性を可能にします。ウェハハンドリング以外にも、ATR-7にはパフォーマンスを向上させ、全体的な機能を向上させる追加機能も含まれています。汎用ツールコントローラインターフェイスや、ホストとの対話的な通信を可能にする高度なデジタルI/Oなどのソフトウェアおよびハードウェアオプションと統合できます。このATR-7には、インターロック、自動ドア閉鎖、出力シャットオフ、電源障害保護などの複数の安全機能が含まれています。これらの安全機能は、ツール操作が安全に行われ、害のリスクが最小限に抑えられるようにするのに役立ちます。さらに、ATR-7には直感的なユーザーインターフェイスが含まれており、簡単なセットアップと使用が可能です。それは空気およびモーターを備えられたウェーハポッドのキャリアと互換性があり、200mmから300mmまでサイズを扱うことができます。ATR-7は革新的で汎用性の高い機械であり、ウェーハ加工作業に最適です。精密ビジョンシステム、複数のオプション機能、安全機能を備えたBROOKS AUTOMATION ATR-7は、あらゆるウェーハ処理ニーズに対応する包括的で信頼性の高いソリューションです。