中古 BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #293643073 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7は、半導体用に特別に設計されたウェハハンドラです。このウエハハンドラは、さまざまなウエハの種類やサイズに対応することができ、ウェハを損傷することなく安全に輸送、整列、位置決めすることができます。このATR-7は、マイクロプロセッサ制御サーボシステムによってサポートされる電動ステージを利用した精密駆動アライメント装置を搭載しています。電動ステージは高精度なX座標とY座標の位置決めが可能で、300 mmの距離で0。3 μ mの空間再現性を提供することができます。この精密なアライメントユニットにより、最大2。5mmの寸法バリエーションを持つウェーハの正確なアライメントと搬送が可能です。ウェーハハンドラは、各ウェーハの所在を確実にし、潜在的な汚染リスクを低減するさまざまな安全機能を備えています。これには、ウェーハのミッシャンドリングを検出するために使用される多数のセンサーと、ウェーハの転送時に適切なアライメントを確保するための統合モニタリングマシンが含まれます。その他の機能には、加熱トラッキングモジュール、電子的に調整可能なプロセス速度、およびデータロギング機能があります。ウェーハハンドラは、ウェーハを安全に搬送および整列させるために、ウェーハキャリアとウェーハツキャリアの両方の精度において、さまざまなオプションで設計されてATR-7ます。付属のウェーハキャリアは、正確かつ再現性の高いアライメントを可能にし、各ウェーハが輸送中に適切に中央に配置され、最大20 200mm、 7インチ、または3つの8インチウェーハを保持できます。このキャリアには、個々のウェーハを検出するためのセンシング機構と、STS、 ETS、またはDTSテストテープの存在も含まれています。また、ATR-7のウェーハからキャリアまでの精度は0。15 µmから3。5 µmまで調整可能で、各ウェーハをキャリア内に正確に配置することができます。002-7090-05 ATR-7は、半導体アプリケーションにおける安全で正確で効率的なウェーハ転送と自動ウェーハ処理を容易にするように設計された、信頼性の高い精密なウェーハハンドラです。高精度で再現性の高いアライメントと、さまざまなウエハサイズやタイプを安全かつ安全に処理する機能を提供します。ウェーハの正確なアライメント、トラッキング、搬送を必要とする自動ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。