中古 BROOKS AUTOMATION 002-5885-02 #9153585 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-5885-02
ID: 9153585
DC Power supply.
BROOKS AUTOMATION 002-5885-02ウェーハハンドラーは、半導体製造で使用するための完全に自動化された、プロセス対応の材料処理ツールです。ウェーハハンドラは、集積回路の製造に使用するために特別に設計されており、安全で一貫した効率的なウェーハ輸送が可能です。ウェーハハンドラはモジュラー設計で構成されており、目的の環境に合わせて完全にカスタマイズすることができます。その機能には、制御可能な回転テーブル、ユーザーインターフェイス/コントロールパネル、ウェーハアライメントコンポーネント、および輸送機器コンポーネントが含まれます。ウェハハンドラには、ユーザーの安全を確保するための安全機能も装備されています。ロータリーテーブルにより、ウェーハハンドラは最大12インチの直径のウェーハの位置決め、向き、および取り扱いが可能です。調節可能なテーブルスピードには、高速かつ遅い動作のための設定があり、最も遅い設定は壊れやすい材料の繊細な処理のために設計されています。ロータリーテーブルはまた、ウェーハ表面全体の完全なカバレッジを確保し、双方向の動きを提供します。ウエハハンドラのユーザーインターフェイスは、キーパッド付きのグラフィカルディスプレイで構成されており、関連するすべての操作パラメータに簡単かつ明確にアクセスできます。このインターフェイスは、テーブルの位置に関するリアルタイムのフィードバックも提供し、ユーザーはそれに応じて設定を調整することができます。さらに、ウェハハンドラには構成可能なI/Oポートがあり、他の産業機器との統合が可能です。ウェーハハンドラに含まれるウェーハアライメントコンポーネントは、高い精度を確保します。自動化されたプロセスを使用して、ウェーハの正確なアライメントを確保し、スループットを最大化し、ウェーハの破損および拒絶率を最小限に抑えます。平らな表面にウェーハを取り付けることで、ウェーハの動きによる振動を最小限に抑え、部品を損傷させる可能性があります。ウェーハハンドラの搬送システムコンポーネントは、製造プロセス全体にわたってウェーハの効率的かつ安全な移動を提供するように設計されています。そのプロセス能力は、真空システム、ロボットアーム、コンベア、その他の機械など、幅広い用途に使用できるように設計されています。トランスポートユニットには、ウェーハの動きをオンラインで監視するために使用されるビジョンマシンコンポーネントも含まれています。結論として、002-5885-02 Wafer Handlerは、プロセス対応の自動マテリアルハンドリングを提供することにより、集積回路の生産において高効率であるように設計されています。安全機能、ユーザーインターフェイス、ウェーハアライメントコンポーネント、および安全で効率的なウェーハハンドリングのためのトランスポートツールを提供します。さらに、統合されたビジョンアセットにより、ウェーハの動きをオンラインで監視することができ、高い精度とスループットを実現します。
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