中古 BROOKS AUTOMATION 002-5885-02 #293632674 を販売中
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BROOKS AUTOMATION 002-5885-02は、生産プロセスの生産性と全体的な効率を向上させるために設計された4軸ロボットウェハハンドラです。縦軸と横軸の両方を利用してウェーハを配送からピックアップ、またはその逆に移動させる効果的な設計で、ウェーハの取り扱いと配布に最適です。さらに、このウェハハンドラは6段階のバッチ処理を備えているため、さまざまな種類のウェハを連続して処理する際に最大限の柔軟性が得られます。このロボットウェハハンドラは、生産環境における最適な性能の実績があるため、非常に信頼性が高いです。200mmから300mmまでのあらゆる種類のウェーハを含む柔軟なスループット要件をサポートできます。そのロボット精度は、輸送プロセスを通じてすべてのウェーハのアライメントを保証するのに十分ではありません。光学アライメントはウェハハンドリングの不可欠な部分であるため、002-5885-02は正確なマルチゾーンオプティクスアライメントモジュールを使用しています。非常に高速でもウェーハの正確な追跡とアライメントが可能です。これにより、ウェーハは確実に整列し、輸送プロセス中も安全に保たれます。さらに、このハンドラは、輸送中にウェーハを保護し、混乱や性能、信頼性の問題を回避することができます。BROOKS AUTOMATION 002-5885-02は、安全な輸送と正確なアライメントに加えて、ウェーハの再発注機能を自動化し、シーケンスの故障を処理して修正してから、ウェーハを受信ステーションに再配送することができます。これにより、再注文プロセスが迅速かつ効率的になり、故障の再注文によって生産が妨げられないようになります。ウェハハンドラには、設定可能なストップとホールド機能も備えており、転送ポイントで追加のプログラミングと操作オプションを可能にします。002-5885-02は非常に堅牢なウエハハンドラで、あらゆる生産環境で優れた性能を発揮します。安全な配送システム、コンフィギュレーション可能な制御操作、正確なマルチゾーンオプティクスのアライメント、自動再注文機能を組み合わせることで、さまざまなウェーハ処理タスクに最適なソリューションです。優れた性能と比類のない汎用性を備えたBROOKS AUTOMATION 002-5885-02は、信頼性の高い正確なウエハハンドリング操作を必要とする製造ニーズに最適です。
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