中古 BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A #9292367 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV Aは、自動化された正確で高速なウェーハの移動と制御を提供するように設計された高性能ウェーハハンドラです。精密、微細なモーションコントロール、自動化されたウェーハハンドリングを組み合わせています。半導体業界の重要なウェハハンドリング要件を満たすように設計されています。002-1099-02 REVウェーハハンドラは、単一の垂直カラムと上下のコンポーネントを備えたロープロファイル構造で、安定性と操作性を向上させます。垂直列はウェーハの動きを制御し、正確で正確な位置決めを保証します。トルクモーターを搭載したロボットアームを採用し、手動および自動グリップ、移動、リトラクト機能を実現しています。ロボットアームには、高速および加速性能を実現する内蔵ブラシレスDC （BLDC）モータが搭載されています。また、ウエハハンドラは、最大3つのウエハを同時に操作できる独自の3軸操作を備えています。各軸には、エンコーダとモーターを内蔵したベルト駆動のロータリーアクチュエータが装備されています。エンコーダの解像度は0。05mmで、処理中のウェーハの正確な位置決めが可能です。ベルトドライブは滑らかで静かな操作を提供します。BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV Aは、プログラマブルなウェーハ位置決めインターフェースを備えており、正確かつ制御されたウェーハ配置が可能です。このインターフェイスには、ウェーハの位置を監視する2つの精密光学エンコーダと、ウェーハの位置を制御するプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が含まれています。搬送・取り扱いの際にウェーハを確実に保持する装置には、エアベアリング真空チャックが付属しています。002-1099-02 REV Aは、システムの操作と制御を簡素化するためのユーザーインターフェイスも備えています。ユーザーインターフェイスには、多機能ディスプレイと、ユニットのプログラミングと操作のためのグラフィカルなタッチスクリーンインターフェイスが含まれています。ユーザーインターフェイスにより、ウェーハハンドラマシンを効率的かつ正確に操作できます。BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV Aは、優れた精度とスピードと自動ウェハハンドリング機能を組み合わせた高度なウェハハンドラツールです。半導体業界向けの信頼性と堅牢性を備えたツールであり、幅広いアプリケーションに正確で高速なウェーハ位置決めと操作を提供できます。