中古 BROOKS AUTOMATION 002-0790-05 #9386156 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-0790-05ウェーハハンドラは、ウェーハレベルの処理に高い生産効率を提供する精密制御ハンドリング装置です。この自動化装置は、お客様に高品質の製品を生産できる自動プロセスを提供するように設計されています。ウエハハンドラは、ステンレス構造で設計されており、非磁性ドライブシステムと5µmの再現性と高精度を備えています。滑らかな動き制御のための陽極酸化されたアルミニウム方法単位の200mmおよび150mmのウェーハを扱うことができます。ウェーハハンドラは、処理工程中にウェーハを正確に配置して操作するように設計された水平同期ZステージとXYステージを備えています。これらのステージのモーションコントロールは独立したモーションコントロールパネルによって提供され、信頼性の高い精度と反復可能な動きを提供します。このウエハハンドラは、静電気を低減するように設計された帯電防止ジェネレータと、プロセス中にきれいで乾燥した窒素を維持する窒素パージ機を備えています。さらに、この自動化装置の統合設計は、さまざまな安全機能を備えています。これには、Eストップツール、インターロック、および完全に密閉されたドアシステムが含まれ、すべてが潜在的に危険な状況から労働者やオペレーターを保護するように設計されています。さらに、ウェハハンドラには圧力センサ、温度センサー、湿度センサーなど、さまざまなセンサーが搭載されているため、プロセスを簡単に監視できます。全体として、002-0790-05ウェーハハンドラは、自動ウェーハ処理および処理に最適なソリューションです。その精密制御資産は、高い生産効率を提供します、その統合された安全機能は、その労働者やオペレータのための十分な保護を提供しながら、。