中古 BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 #9256375 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-0016-14ウェーハハンドラは、そのような機械を必要とするプロセス中にウェーハを効率的かつ信頼性の高い処理するために設計された洗練された機械です。その特徴と設計は、プロセスの信頼性と効率性に重点を置いてプロセスを最適化するために設計されています。このマシンは、最大270 mm/sの動きで、最大12インチのサイズのウェーハを処理するように設計されています。機械はウェーハの非常に精密な位置そして動きを可能にする2つの独立したワインダーが装備されています。また、プロセス全体でウェーハ位置を正確に追跡できるデュアル同心ウェーハ追跡装置もあります。このマシンには、ウェーハを拾い、プロセス中の他のステーションやステップに転送するための真空または吸引システムが装備されています。このユニットには、プロセスが精度と精度で実行されることを保証するために、さまざまなセンサーと検出器が装備されています。これには、真空が適切に維持されているときに検出する真空検出器と、ウェーハの存在と位置を検出するセンサーが含まれます。また、ウェーハの汚れや破片を取り除くためのウェーハクリーニングマシンも装備しています。ウェーハの位置決め精度を向上させ、欠陥を特定して特定するための統合ビジョンツールと、ビジョンモデルで検出するには小さすぎる粒子の存在を検出できるオプションのデジタルイメージングアセットがあります。この機械には、オペレータにプロセスの不規則性を警告するアラーム装置も装備されています。アラートシステムは、センサー検出器が潜在的な問題を識別し、オペレータに警告するために視覚または音声の警告ディスプレイと結合すると自動的に有効になります。最後に、このマシンは直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、セットアップと使用が簡単です。これは、性能要件と安全要件に準拠していることを確認するためにテストされており、マシンのセットアップと動作を容易にするために、ユーザーフレンドリーなドキュメントのホストによってサポートされています。