中古 BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 #293695824 を販売中

BROOKS AUTOMATION 002-0016-14は、複数のウエハの積み降ろし、取り扱いに信頼性の高い効率的な方法を提供するために開発されたウェハハンドリング装置です。このモデルは、BROOKS AUTOMATIONのウエハハンドリング製品ラインの一部であり、ウエハーの搬送と搬送のみならず、ウエハーへの均一で正確なローディングとアンロードを保証するように設計されています。002-0016-14は0°から50°C。の最高温度較差を提供する高性能および信頼性のために設計されています。この範囲は、ウェーハの再現性と信頼性の高い処理を提供し、複数のツール間の遷移、プロセス時間の延長、および長期的な動作を可能にします。このパワー方式は、20k真空と組み合わせることで、ウェーハを緩やかにクランプして搬送することができ、ウェーハレベルのローディングとアンロード精度を保証します。BROOKS AUTOMATION 002-0016-14は、8ポケットマガジンと、2つのロボットアームによりウェーハを迅速かつ効率的にロードおよびアンロードする機能のおかげで、一度に最大25ウェーハを処理することができます。これらのアームは、ウェーハのピッキングと配置のためにプログラムすることができ、サイズ、材料、タイプの範囲を収容することができます。ロボットアームは、インラインシステムに非常に有益な、ウェーハの正確で低接触のローディングとアンロードを可能にします。002-0016-14は既存の生産ラインに統合し易いように設計されています。これは生産ラインの装置に一致させるように設計されている統合された普遍的な雑誌によって達成されます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的な制御システムにより、ウェーハの厚さなどのパラメータを正確に設定でき、必要な調整を柔軟に行うことができます。さらに、スキャナやプロセッサなどの他のオートメーション機器に簡単に接続できます。BROOKS AUTOMATION 002-0016-14は、大容量の生産環境での使用を想定しており、ウェーハのロード、アンロード、取り扱いを高速化し、エラーを最小限に抑え、高い再現性を実現します。コンパクトなサイズ、パワフルなパフォーマンス、柔軟性、他のオートメーション機器との統合の容易さと組み合わせることで、信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングを実現します。